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| 标准编号 | JB/T 2965-1992 (JB/T2965-1992) | | 中文名称 | 溅射离子泵性能测试方法 | | 英文名称 | Performance testing method of sputtering ion pump | | 行业 | 机械行业标准 (推荐) | | 中标分类 | J78 | | 字数估计 | 6,652 | | 发布日期 | 12/25/1992 | | 实施日期 | 7/1/1993 | | 旧标准 (被替代) | JB 2965-1981 | | 标准依据 | 工科(2010)第77号 | | 范围 | 本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。本标准适用于抽速大于10的离子泵。 |
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