路径: 主页 > JB/T > 第211页 > JB/T 5630-1991 | 标准编号 | JB/T 5630-1991 (JB/T5630-1991) | | 中文名称 | 半导体器件扩散炉 能耗分等 | | 英文名称 | Diffusion furnace for semiconductor devices. Grading of energy consumption | | 行业 | 机械行业标准 (推荐) | | 中标分类 | J01 | | 字数估计 | 4,493 | | 发布日期 | 9/13/1991 | | 实施日期 | 7/1/1992 | | 范围 | 本标准规定了半导体器件扩散炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。 | ......
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