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| 标准编号 | JB/T 5633-1991 (JB/T5633-1991) | | 中文名称 | 单晶炉 能耗分等 | | 英文名称 | Single-crystal furnace. Grading of energy consumption | | 行业 | 机械行业标准 (推荐) | | 中标分类 | J01 | | 字数估计 | 3,371 | | 发布日期 | 9/13/1991 | | 实施日期 | 7/1/1992 | | 范围 | 本标准规定了单晶炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业直拉式和区熔式硅单晶炉。 |
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