| 标准编号 | JB/T 8945-2010 (JB/T8945-2010) |
| 中文名称 | 真空溅射镀膜设备 |
| 英文名称 | Vacuum sputtering coating plant |
| 行业 | 机械行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | J78 |
| 国际标准分类 | 23.160 |
| 字数估计 | 8,885 |
| 发布日期 | 2010-02-11 |
| 实施日期 | 2010-07-01 |
| 旧标准 (被替代) | JB/T 8945-1999 |
| 引用标准 | GB/T 191; GB/T 6070; GB/T 11164-1999; GB/T 13306; JB/T 1090; JB/T 1091; JB/T 1092; JB/T 7673 |
| 标准依据 | 工科(2010)第82号;行业标准备案公告2010年第5号(总第125号) |
| 发布机构 | 工业和信息化部 |
| 范围 | 本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在1×10(-1)Pa～1×10(-3)Pa范围的真空溅射镀膜设备。 |