路径: 主页 > JJ > 第43页 > JJF 1238-2022 | 标准编号 | JJF 1238-2022 (JJF1238-2022) | | 中文名称 | 集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范 | | 英文名称 | Calibration Specification for Testing Systems of Microcircuits Electro-static Discharge(ESD) Sensitivity | | 行业 | 计量行业标准 | | 中标分类 | A53 | | 字数估计 | 29,259 | | 发布日期 | 2022-09-26 | | 实施日期 | 2023-03-26 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局 | JJF 1238-2022
Calibration Specification for Testing Systems of Microcircuits Electro-static Discharge(ESD) Sensitivity
中华人民共和国国家计量技术规范
集成电路静电放电敏感度
测试设备校准规范
2022-09-26发布
2023-03-26实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布
集成电路静电放电敏感度
测试设备校准规范
(ESD)Sensitivity
代替JJF1238-2010
归 口 单 位:全国无线电计量技术委员会
起 草 单 位:中国电子技术标准化研究院
本规范委托全国无线电计量技术委员会负责解释
本规范主要起草人:
邢荣欣 (中国电子技术标准化研究院)
吴京燕 (中国电子技术标准化研究院)
参加起草人:
蔡依林 (中国电子技术标准化研究院)
目 录
引言 (Ⅱ)
1 范围 (1)
2 引用文件 (1)
3 术语 (1)
4 概述 (1)
5 计量特性 (3)
5.1 人体模型放电 (3)
5.2 机器模型放电 (3)
5.3 闩锁模型放电 (4)
6 校准条件 (4)
6.1 环境条件 (4)
6.2 测量标准及其他设备 (4)
7 校准项目和校准方法 (5)
7.1 校准项目 (5)
7.2 校准方法 (5)
8 校准结果的表达 (10)
9 复校时间间隔 (11)
附录A 原始记录格式 (12)
附录B 校准证书内页格式 (15)
附录C 主要项目校准不确定度评定示例 (18)
引 言
JJF1071-2010 《国家计量校准规范编写规则》和JJF1059.1-2012 《测量不确定
度评定与表示》共同构成支撑本规范编制修订工作的基础性系列规范。
本校准规范参考了 GJB548B-2005 《微电子器件试验方法和程序》、ANSI/ESD
STM5.1-2007《静电放电敏感度测试 人体模型 (HBM)器件级》、JESD22-A115C-
2010《静电放电敏感度测试 机器模型 (MM)》和JESD78E-2016 《集成电路闩锁
测试》。
本规范是对JJF1238-2010 《集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范》的修
订,主要修订内容:
---增加了机器模型和闩锁模型放电校准。
---将人体放电电压校准范围由 (500~8000)V扩展到 (100~8000)V。
---在人体模型放电参数校准中,增加了500Ω负载下放电电流参数的校准。
---修订了测量不确定度评定的示例。
本规范历次版本发布情况:
JJF1238-2010。
集成电路静电放电敏感度
测试设备校准规范
1 范围
本规范适用于集成电路静电放电敏感度测试设备 (人体模型、机器模型和闩锁模
型)的校准。
2 引用文件
GJB548B-2005 微电子器件试验方法和程序
ANSI/ESDSTM5.1-2007 静电放电敏感度测试 人体模型 (HBM)器件级
nentLevel]
JESD22-A115C-2010 静电放电敏感度测试-机器模型 (MM) [Electrostatic
JESD78E-2016 集成电路闩锁测试 (ICLatch-UpTest)
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文
件,其最新版本 (包括所有的修改单)适用于本规范。
3 术语
放电电流从100% 峰值衰减到36.8% 峰值所需要的时间。
放电电流第1次过零点与第3次过零点时间间隔tfr的倒数。
4 概述
集成电路静电放电敏感度测试设备 (也称ESD设备)主要模拟产生自然界中人体、
机器可能带有的静电电压,并将产生的静电电压施加到被测器件上,以考察器件的抗静
电能力。
根据放电机理,集成电路静电放电敏感度测试设备 (以下简称被校设备)可模拟人
体、机器和闩锁三种放电模型。其中,人体模型模拟人体带电后对电子元器件的静电放
电,机器模型模拟带静电机器或设备对电子元器件的静电放电,闩锁模......
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