路径: 主页 > JJ > 第12页 > JJF 1427-2013 | 标准编号 | JJF 1427-2013 (JJF1427-2013) | | 中文名称 | 微机电(MEMS)线加速度计校准规范 | | 英文名称 | Calibration Specification for MEMS Linear Accelerometers | | 行业 | 计量行业标准 | | 中标分类 | A57 | | 国际标准分类 | 17.080 | | 字数估计 | 27,297 | | 引用标准 | JJF 1116-2004; GJB 1037A-2004; GB/T 20485.21-2007; IEC 60747 PART14-4 | | 标准依据 | 质检总局公告2013年122号; | | 发布机构 | 国家质量监督检验检疫总局 | | 范围 | 本规范规定了微机电(MEMS)线加速度计(以下简称MEMS线加速度计或加速度计)的校准项目和校准方法, 适用于单敏感轴MEMS线加速度计。 | JJF 1427-2013
Calibration Specification for MEMS Linear Accelerometers
中华人民共和国国家计量技术规范
微机电(MEMS)线加速度计校准规范
2013-09-02发布
2013-12-02实施
国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局 发 布
微机电(MEMS)线加速度计
校准规范
归 口 单 位:全国惯性技术计量技术委员会
起 草 单 位:中国电子科技集团公司第十三研究所
中航工业北京长城计量测试技术研究所
本规范委托全国惯性技术计量技术委员会负责解释
本规范主要起草人:
杨拥军 (中国电子科技集团公司第十三研究所)
董雪明 (中航工业北京长城计量测试技术研究所)
徐淑静 (中国电子科技集团公司第十三研究所)
参加起草人:
何懿才 (中航工业北京长城计量测试技术研究所)
吝海锋 (中国电子科技集团公司第十三研究所)
田 阳 (中航工业北京长城计量测试技术研究所)
目 录
引言 (Ⅱ)
1 范围 (1)
2 引用文件 (1)
3 术语及定义 (1)
4 概述 (1)
5 计量特性 (2)
6 校准条件 (3)
6.1 校准环境条件 (3)
6.2 测量标准及设备 (3)
7 校准项目和校准方法 (4)
7.1 校准项目 (4)
7.2 校准方法 (5)
8 校准结果表达 (14)
9 复校时间间隔 (14)
附录A MEMS线加速度计重力场校准不确定度评估示例 (15)
附录B 校准证书内页格式 (21)
引 言
微机电 (MEMS)线加速度计广泛应用于国民经济各领域,基于此考虑,结合微机
电 (MEMS)线加速度计校准的实际情况,参照国际电工委员会IEC (INTERNATIONAL
编写本规范。
微机电 (MEMS)线加速度计校准规范
1 范围
本规范规定了微机电 (MEMS)线加速度计 (以下简称 MEMS线加速度计或加速
度计)的校准项目和校准方法,适用于单敏感轴 MEMS线加速度计。
2 引用文件
本规范引用了下列文件:
JJF1116-2004 线加速度计的精密离心机校准规范
GJB1037A-2004 单轴摆式伺服线加速度计试验方法
GB/T 20485.21-2007 振动与冲击传感器校准方法 第21部分:振动比较法
校准
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文
件,其最新版本 (包括所有的修改单)适用于本规范。
3 术语及定义
运用半导体工艺集成了传感器、执行器和/或电路的系统。
采用 MEMS加工工艺制作的用于将输入的线加速度成比例的转化为输出 (通常为
电学量)的传感器。
3.3 敏感质量 proofmass
线加速度计中把沿着或绕输入轴的加速度转换为力矩 (或力)的有效质量。
4 概述
MEMS线加速度计一般由敏感质量、挠性支承和转换线路等构成;工作原理为敏
感质量在外界加速度产生的惯性力作用下产生一定位移,该位移与输入加速度相关,其
物理模型可由公式 (1)进行简化:
M......
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