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| 标准编号 | JJF 1503-2015 (JJF1503-2015) | | 中文名称 | 电容薄膜真空计校准规范 | | 英文名称 | Calibration Specification for Capacitance Diaphragm Vacuum Gauges | | 行业 | 计量行业标准 | | 中标分类 | A53 | | 国际标准分类 | 17.100 | | 字数估计 | 23,299 | | 发布日期 | 2015-01-30 | | 实施日期 | 2015-04-30 | | 引用标准 | JJF 1001-2011; JJF 1008-2008; GB/T 3163-2007; GB/T 3164-2007; ISO/TS 3567-2011(E); ISO/TS 27893-2009(E); 《真空技术手册》 | | 标准依据 | 国家质量监督检验检疫总局公告2015年第19号 | | 发布机构 | 国家质量监督检验检疫总局 | | 范围 | 本规范适用于测量范围在0.1Pa~133 kPa的电容薄膜真空计的校准, 其中包括绝压电容薄膜真空计和差压电容薄膜真空计。 |
JJF 1503-2015
Calibration Specification for Capacitance Diaphragm Vacuum Gauges
中华人民共和国国家计量技术规范
电容薄膜真空计校准规范
2015-01-30发布
2015-04-30实施
国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局 发 布
电容薄膜真空计校准规范
归 口 单 位:全国压力计量技术委员会
主要起草单位:中国计量科学研究院
参加起草单位:上海市计量测试技术研究院
上海振太仪表有限公司
浙江省计量科学研究院
本规范委托全国压力计量技术委员会负责解释
本规范主要起草人:
于红燕 (中国计量科学研究院)
王金库 (中国计量科学研究院)
参加起草人:
许 红 (上海市计量测试技术研究院)
丁基敏 (上海振太仪表有限公司)
陈宇航 (浙江省计量科学研究院)
目 录
引言 (Ⅱ)
1 范围 (1)
2 引用文件 (1)
3 术语和计量单位 (1)
3.1 术语 (1)
3.2 计量单位 (2)
4 概述 (2)
5 计量特性 (3)
5.1 修正因子 (3)
5.2 零位变化量 (3)
6 校准条件 (3)
6.1 环境条件 (3)
6.2 测量标准及其他设备 (3)
7 校准项目和校准方法 (4)
7.1 校准项目 (4)
7.2 校准方法 (4)
8 校准结果表达 (7)
9 复校时间间隔 (8)
附录A 电容薄膜真空计校准记录格式 (9)
附录B 校准证书 (内页)格式 (10)
附录C 电容薄膜真空计修正因子测量结果的不确定度评定方法 (11)
附录D 热流逸效应下电容薄膜真空计修正因子的温度修正 (15)
引 言
JJF1071-2010 《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011 《通用计量术语及
定义》、JJF1059-1 《测量不确定度评定与表示》和GB/T 3163-2007 《真空技术术语》
共同构成本规范制定的基础性系列规范。
本校准规范参照ISO/T S3567:2011 (E) 《真空计---与标准真空计直接比对的
ISO/T S27893:2009 (E)《真空技术---真空计---与标准真空计直接比对校准结果
基本原则,对具体方法和技术指标进行了细化、补充和修改。
本规范为首次制定。
电容薄膜真空计校准规范
1 范围
本规范适用于测量范围在0.1Pa~133kPa的电容薄膜真空计的校准,其中包括绝
压电容薄膜真空计和差压电容薄膜真空计。
2 引用文件
本规范引用了下列文件:
JJF1001-2011 通用计量术语及定义
JJF1008-2008 压力计量名词术语及定义
GB/T 3163-2007 真空技术术语
GB/T 3164-2007 真空技术 图形符号
ISO/T S3567:2011 (E) 真空计---与标准真空计直接比对的校准 (Vacuum
ISO/T S27893:2009 (E) 真空技术---真空计---与标准真空计直接比对校准
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文
件,其最新版本 (包括所有的修改单)适用于本规范。
3 术语和计量单位
3.1 术语
3.1.1 真空计 (vacuumgauge)[GB/T 3163-2007定义4.1.2]
测量低于大气压力的气体或蒸汽压力的一种仪器。
利用膜片受到压差产生位移,造成膜片与固定电极之间的电容量发生变化,通过测
量这种电容量变化来测量压力的真空计。
3.1.3 校准室 (calibrationchamber)
向标准真空计和需校准仪器提供共同真空介质的真空室。
3.1.4 本底压力 (basepressure)[ISO 3567:2011 (E)定义3.17]
在校准气体进入校准室之前,或校准后进气阀关断若干时间后,校准室内的压力。
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