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| 标准编号 | JJF 1944-2021 (JJF1944-2021) | | 中文名称 | 电容式测微仪校准规范 | | 英文名称 | Calibration Specification for Capacitance Comparators | | 行业 | 计量行业标准 | | 中标分类 | A52 | | 国际标准分类 | 17.040 | | 字数估计 | 22,229 | | 发布日期 | 2021-12-08 | | 实施日期 | 2022-06-08 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局 | | 范围 | 本规范适用于量程为20μm~10mm,分辨力为1nm~1μm的电容式测微仪的校准。 |
JJF 1944-2021: 电容式测微仪校准规范
中华人民共和国国家计量技术规范
电容式测微仪校准规范
2021-12-08发布
2022-06-08实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布
电容式测微仪校准规范
代替JJG570-2006
归 口 单 位:全国几何量工程参量计量技术委员会
主要起草单位:河南省计量科学研究院
中国计量科学研究院
参加起草单位:辽宁省计量科学研究院
江苏省计量科学研究院
天津大学
本规范委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释
本规范主要起草人:
贾晓杰 (河南省计量科学研究院)
崔建军 (中国计量科学研究院)
黄玉珠 (河南省计量科学研究院)
周 强 (河南省计量科学研究院)
参加起草人:
刘 娜 (辽宁省计量科学研究院)
王晓飞 (江苏省计量科学研究院)
段发阶 (天津大学)
目 录
引言 (Ⅱ)
1 范围 (1)
2 概述 (1)
3 计量特性 (1)
3.1 重复性 (1)
3.2 示值误差 (1)
3.3 稳定性 (2)
4 校准条件 (2)
4.1 环境条件 (2)
4.2 校准用标准器及相应设备 (2)
5 校准项目和校准方法 (2)
5.1 校准前准备 (2)
5.2 重复性 (2)
5.3 示值误差 (3)
5.4 稳定性 (4)
6 校准结果的表达 (4)
7 复校时间间隔 (5)
附录A 量程20μm的电容式测微仪示值误差的测量数据处理实例 (6)
附录B 测量挡板的技术要求 (7)
附录C 精密测长装置 (8)
附录D 校准证书信息及内页格式 (9)
附录E 电容式测微仪示值误差校准不确定度评定示例 (精密测长装置法) (10)
附录F 电容式测微仪示值误差校准不确定度评定示例 (量块测量法) (13)
引 言
JJF1071-2010 《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011 《通用计量术语及
定义》、JJF1094-2002 《测量仪器特性评定》和JJF1059.1-2012 《测量不确定度评
定与表示》共同构成支撑本规范修订的基础性系列规范。
与JJG570-2006 《电容式测微仪》相比,除编辑性修改外,本规范主要技术变化
如下:
---适用范围由 “量程不大于2000μm,分辨力为1nm~0.5μm”扩大为 “量程
为20μm~10mm,分辨力为1nm~1μm”的电容式测微仪的校准;
---删除了 “引用文献”;
---修改了电容式测微仪结构示意图和电容式测微仪的测头示意图;
---修改 “示值重复性”为 “重复性”,并对其技术指标和校准方法进行了重新描
述,增加了重复性计算公式;
---删除了 “响应时间”“鉴别力”和 “调零范围”技术指标;
---修改了示值误差技术指标,并对其校准方法进行了重新描述;
---修改了 “稳定性”的校准方法;
---删除了 “指针式电容测微仪的计量性能要求”;
---增加了 “附录A 量程20μm的电容式测微仪示值误差的测量数据处理实例”;
---修改了附录B中 “标准挡板”为 “测量挡板”;修改了测量挡板的直径要求;
---增加了附录C精密测长装置结构示意图。
本规范的历次版本发布情况为:
---JJG570-2006;
---JJG570-1988。
电容式测微仪校准规范
1 范围
本规范适用于量程为20μm~10mm,分辨力为1nm~1μm的电容式测微仪的
校准。
2 概述
电容式测微仪 (以下简称测微仪)是采用电容调频或电容运算原理的一种非接触式
尺寸精密测量仪器,适用于航空、医疗、精密制造等行业中的几何量测量。测微仪结构
如图1所示。测微仪可配有成套的测头。测头外形如图2所示。
图1 电容式测微仪结构示意图
1-采集模块;2-数字显示屏;3-上位机软件;4-通信接口;5-测头......
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