路径: 主页 > JJ > 第43页 > JJF 1967-2022 | 标准编号 | JJF 1967-2022 (JJF1967-2022) | | 中文名称 | 激光衍射法反射光栅校准规范 | | 英文名称 | Calibration Specification for Reflection Gratings by Laser Diffraction | | 行业 | 计量行业标准 | | 字数估计 | 30,313 | | 发布日期 | 2022-04-29 | | 实施日期 | 2022-10-29 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局 | JJF 1967-2022
Calibration Specification for Reflection Gratings by Laser Diffraction
中华人民共和国国家计量技术规范
激光衍射法反射光栅
校准规范
byLaserDiffraction
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布
激光衍射法反射光栅
校准规范
归 口 单 位:全国新材料与纳米计量技术委员会
主要起草单位:中国计量科学研究院
参加起草单位:同济大学
本规范委托全国新材料与纳米计量技术委员会负责解释
本规范主要起草人:
殷 聪 (中国计量科学研究院)
石春英 (中国计量科学研究院)
参加起草人:
王建波 (中国计量科学研究院)
程鑫彬 (同济大学)
邓 晓 (同济大学)
目 录
引言 (Ⅱ)
1 范围 (1)
2 引用文件 (1)
3 术语和计量单位 (1)
3.1 光栅 (1)
3.2 反射光栅 (1)
3.3 间距 (1)
3.4 平均间距 (1)
3.5 利特罗结构 (1)
3.6 利特罗角 (1)
3.7 二维光栅正交性 (1)
4 概述 (2)
5 计量特性 (2)
6 校准条件 (2)
6.1 环境条件 (2)
6.2 测量标准及其他设备 (3)
7 校准项目和校准方法 (3)
7.1 一维反射光栅平均间距 (3)
7.2 二维反射光栅平均间距 (4)
7.3 二维反射光栅正交性 (4)
8 校准结果表达 (5)
9 复校时间间隔 (5)
附录A 校准记录内容 (6)
附录B 校准证书内页内容 (11)
附录C 不确定度评定示例 (13)
附录D 衍射法测量反射光栅间距的原理 (22)
引 言
本规范依据JJF1001 《通用计量术语及定义》、JJF1071 《国家计量校准规范编写
规则》编制,参考了IEC/T S62622:2012 《纳米技术 人造光栅的描述,测量和几何
定按照JJF1059.1 《测量不确定度评定与表示》进行。
本规范为首次发布。
激光衍射法反射光栅
校准规范
1 范围
本规范适用于平均间距为 (140~2000)nm、能观测到衍射现象的一维或二维反
射光栅的校准。
2 引用文件
本规范引用了下列文件:
GB/T 13962-2009 光学仪器术语
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文
件,其最新版本 (包括所有的修改单)适用于本规范。
3 术语和计量单位
3.1 光栅 grating
一种表面排列大量精细的、相互平行的、等距的、周期性的、相同的结构的光学器
件。其周期性结构既可以是直线阵列,也可以是沿直线排列的点阵。
注:此处光栅的定义与GB/T 13962-2009 《光学仪器术语》6.139中光栅的定义不同。此处的
定义仅针对被校准对象的特征。
3.2 反射光栅 reflectiongrating
入射光与衍射光在光栅工作面同一侧的衍射光栅。
3.3 间距 pitch
光栅上相邻结构之间的距离。
注1:单位为nm。
注2:一般用结构的中心距确定间距,有些情况下也可以用结构的边界确定间距。
3.4 平均间距 meanpitch
由光栅上多个间距确定的间距的平均值。
注:单位为nm。
3.5 利特罗结构 Littrowconfiguration
反射光栅衍射时,衍射光与入射光重合时的光路结构。
3.6 利......
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