路径: 主页 > JJ > 第35页 > JJG 77-2006 | 标准编号 | JJG 77-2006 (JJG77-2006) | | 中文名称 | 干涉显微镜检定规程 | | 英文名称 | Verification Regulation of Interference Microscopes | | 行业 | 计量行业标准 | | 中标分类 | A52 | | 国际标准分类 | 11.040 | | 字数估计 | 21,262 | | 发布日期 | 2006-05-23 | | 实施日期 | 2006-11-23 | | 旧标准 (被替代) | JJG 77-1983 | | 引用标准 | JJF 1001-1998; JJF 1059-1999; JJF 1094-2002; JJG 812-1993 | | 发布机构 | 国家质量监督检验检疫总局 | | 范围 | 本规程适用于双光束干涉显微镜的首次检定、后续检定和使用中检验。 | JJG 77-2006
Verification Regulation of Interference Microscopes
中华人民共和国国家计量检定规程
干 涉 显 微 镜
2006-05-23发布
2006-11-23实施
国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局 发 布
干涉显微镜检定规程
es
代替JJG77-1983
本规程经国家质量监督检验检疫总局2006年5月23日批准,并自
2006年11月23日起施行。
归口单位:全国几何量工程参量计量技术委员会
起草单位:中国计量科学研究院
本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释
本规程主要起草人:
杜 华 (中国计量科学研究院)
高思田 (中国计量科学研究院)
参加起草人:
赵有祥 (中国计量科学研究院)
朱小平 (中国计量科学研究院)
目 录
1 范围 (1)
2 引用文献 (1)
3 概述 (1)
4 计量性能要求 (3)
4.1 干涉滤光片的特性 (3)
4.2 测微鼓轮微分筒刻线锥面的内棱边与固定套管刻线面之间的距离 (3)
4.3 测微目镜十字线分划板的指标线与毫米分划板刻线的相对位置 (3)
4.4 测微目镜测微鼓轮刻线与毫米分划板刻线的相符性 (3)
4.5 测微目镜的示值误差 (3)
4.6 光学系统成像质量 (3)
4.7 工作台与主光轴的相互位置 (4)
4.8 辅助成像装置的特性 (4)
4.9 仪器的示值误差 (4)
5 通用技术要求 (4)
6 计量器具控制 (5)
6.1 检定条件 (5)
6.2 检定项目 (6)
6.3 检定方法 (6)
6.4 检定结果的处理 (10)
6.5 检定周期 (10)
附录A 干涉显微镜示值误差检定结果的不确定度评定 (11)
附录B 检定证书和检定结果通知书 (内页)格式 (16)
干涉显微镜检定规程
1 范围
本规程适用于双光束干涉显微镜的首次检定、后续检定和使用中检验。
2 引用文献
本规程引用下列文献:
JJF1001-1998 通用计量术语及定义
JJF1059-1999 测量不确定度评定与表示
JJF1094-2002 测量仪器特性评定技术规范
JJG812-1993 干涉滤光片检定规程
使用本规程时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。
3 概述
干涉显微镜由干涉和显微系统组成,利用光波干涉原理来测量表面粗糙度参数。它
是以范围为 (530~600)nm的光波波长为标尺,将被测表面与标准光学镜面相比较,
再经显微系统高倍放大后,来观察和测量被测表面的微观几何形状特性。双光束干涉显
微镜主要用于表面粗糙度评定参数Rz的测量。该仪器可用来测量精密加工零件的表面
如平面、圆柱面等外表面,也可用来测量零件表面刻线、镀层等深度。目前常用的仪器
外形如图1和图2所示。
1─调焦鼓轮;2─遮光屏;3─干涉带宽度、方向调节螺钉;4─参考镜微调螺丝;
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