路径: 主页 > SJ > 第17页 > SJ 1794-1981 | 标准编号 | SJ 1794-1981 (SJ1794-1981) | | 中文名称 | 半导体器件生产用扩散炉.通用技术条件 | | 英文名称 | General specification for diffusion furnace for semiconductor device manufacturing | | 行业 | 电子行业标准 | | 中标分类 | L97 | | 字数估计 | 6,668 | | 发布日期 | 10/1/1981 | | 实施日期 | 10/1/1981 | | 范围 | 本标准适用于对半导体器件、集成电路用原材料进行氧化、扩散和其他热处理的扩散炉。本标准未做明确规定的一般技术要求, 应按SJ 142-78《电子工业专用设备总技术条件》执行。各类扩散炉的特殊要求, 在相应的产品标准中予以规定。 | ......
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