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[PDF] SJ 21130-2016 - 英文版

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SJ 21130-2016 英文版 499 SJ 21130-2016 [PDF]天数 >=4 等离子体刻蚀机通用规范 有效
基本信息
标准编号 SJ 21130-2016 (SJ21130-2016)
中文名称 等离子体刻蚀机通用规范
英文名称 (General specification for plasma etching machines)
行业 电子行业标准
中标分类 L95
字数估计 20,221
发布机构 工业和信息化部

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英文网页English: SJ 21130-2016

相关标准: SJ/T 11794 | SJ 21125 | SJ 21126 | SJ 21124 |