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[PDF] SJ 21200-2016 - 英文版

标准号码	内文	价格美元	第2步(购买)	交付天数	标准名称	状态
SJ 21200-2016	英文版	499	SJ 21200-2016	[PDF]天数 >=4	平板式等离子体增强化学气相淀积设备通用规范	有效

基本信息
标准编号	SJ 21200-2016 (SJ21200-2016)
中文名称	平板式等离子体增强化学气相淀积设备通用规范
英文名称	(General specification for flat plasma enhanced chemical vapor deposition equipment)
行业	电子行业标准
字数估计	20,223
发布机构	工业和信息化部

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英文网页English: SJ 21200-2016

相关标准: SJ/T 11277 | SJ/T 11891 | SJ/T 11890 |