路径: 主页 > SJ > 第18页 > SJ 21630-2021 | 标准编号 | SJ 21630-2021 (SJ21630-2021) | | 中文名称 | 碳化硅(SiC)离子注入设备工艺验证方法 | | 英文名称 | (Process verification method for silicon carbide (SiC) ion implantation equipment) | | 行业 | 电子行业标准 | | 中标分类 | L95 | | 国际标准分类 | 31.240 | | 字数估计 | 11,199 | | 发布日期 | 2021-12-27 | | 实施日期 | 2022-03-01 | | 发布机构 | 工业和信息化部 | ......
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