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| 标准编号 | SJ 2758-1987 (SJ2758-1987) | | 中文名称 | 同型外延层厚度的红外干涉测试方法 | | 英文名称 | Method of measurement by infrared interference for thickness of homoepitaxial layers | | 行业 | 电子行业标准 | | 中标分类 | L90 | | 字数估计 | 12,195 | | 发布日期 | 2/10/1987 | | 实施日期 | 7/1/1987 | | 标准依据 | 工科(2010)第77号 |
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