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| 标准编号 | SJ 2807-1987 (SJ2807-1987) | | 中文名称 | 电子级体气中痕量氢的测定方法.气敏色谱法 | | 英文名称 | Method for determination of trace Hydrogen in electronic grade gases--Gas-sensitization chromatographic method | | 行业 | 电子行业标准 | | 中标分类 | L90 | | 字数估计 | 5,552 | | 发布日期 | 5/18/1987 | | 实施日期 | 1/1/1988 | | 采用标准 | SEMI标准, NEQ | | 标准依据 | 工科(2010)第77号 |
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