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| 标准编号 | SJ 3248-1989 (SJ3248-1989) | | 中文名称 | 重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法 | | 英文名称 | Methods for measuring carrier concentration of readded Gallium arsenide and Indium phosphide by infra-red reflection | | 行业 | 电子行业标准 | | 中标分类 | H83;L90 | | 国际标准分类 | 29.045 | | 字数估计 | 4,481 | | 发布日期 | 3/20/1989 | | 实施日期 | 3/25/1989 | | 标准依据 | 工科(2010)第77号 | | 范围 | 本标准规定了红外反射法测量重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的测量原理、仪器设备、样品制备、测量步骤。结果计算和精度等。本标准适用于测量重掺砷化镓和磷化铟单晶载流子浓度, 也适用于测量外延层的载流予浓度。 |
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