路径: 主页 > SJ/T > 第3页 > SJ/T 10274-1991 | 标准编号 | SJ/T 10274-1991 (SJ/T10274-1991) | | 中文名称 | 掩模对准曝光机测试方法 | | 英文名称 | Test methods of mask alignment and exposure system | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 中标分类 | N38;L99 | | 字数估计 | 10,150 | | 发布日期 | 11/12/1991 | | 实施日期 | 1/1/1992 | | 引用标准 | GB 11481; GB 7237; GB 4857.9; GB 5398 | | 标准依据 | 工科(2010) 第77号 | | 范围 | 本标准规定了测试掩模对准曝光机(以下简称""曝光机"")的一般要求和方法。本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。 | ......
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