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| 标准编号 | SJ/T 10584-1994 (SJ/T10584-1994) | | 中文名称 | 微电子学光掩蔽技术术语 | | 英文名称 | Terms of photomasking technology for microelectronics | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 中标分类 | L90 | | 字数估计 | 30,362 | | 发布日期 | 8/8/1994 | | 实施日期 | 12/1/1994 | | 范围 | 本标准规定了微电子学光掩蔽技术的有关术语。本标准适用于微电子学光掩蔽技术的科研、生产、教学、贸易和技术交流。 |
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