路径: 主页 > SJ/T > 第14页 > SJ/T 11183-2022 | 标准编号 | SJ/T 11183-2022 (SJ/T11183-2022) | | 中文名称 | 旋转式涂覆设备通用规范 | | 英文名称 | (General specification for rotary coating equipment) | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 中标分类 | L97 | | 国际标准分类 | 31.020 | | 字数估计 | 12,127 | | 发布日期 | 2022-09-30 | | 实施日期 | 2023-01-01 | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本文件规定了旋转式涂覆设备的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于泛半导体微纳加工光刻工艺制程中的旋转式涂覆设备。 | ......
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