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| 标准编号 | SJ/T 11707-2018 (SJ/T11707-2018) | | 中文名称 | 硅通孔几何测量术语 | | 英文名称 | Terminology for through silicon via geometrical metrology | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 中标分类 | L04 | | 字数估计 | 13,120 | | 发布日期 | 2018-02-09 | | 实施日期 | 2018-04-01 | | 标准依据 | 工业和信息化部公告2018年第10号 | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了硅通孔尺寸的几何测量术语和定义。 |
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