路径: 主页 > SJ/T > 第18页 > SJ/T 11761-2020 | 标准编号 | SJ/T 11761-2020 (SJ/T11761-2020) | | 中文名称 | 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范 | | 英文名称 | (Specification for loading ports of semiconductor equipment for wafers of 200mm and below) | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 中标分类 | L95 | | 字数估计 | 7,767 | | 发布日期 | 2020-12-09 | | 实施日期 | 2021-04-01 | | 标准依据 | 工业和信息化部公告2020年第48号 | | 发布机构 | 工业和信息化部 | ......
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