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| 标准编号 | SJ/Z 21537-2018 (SJ/Z21537-2018) | | 中文名称 | 半导体集成电路统计过程控制技术实施指南 | | 英文名称 | (Semiconductor integrated circuit statistical process control technology implementation guide) | | 行业 | 电子行业标准 | | 中标分类 | L56 | | 国际标准分类 | 31.200 | | 字数估计 | 69,692 | | 发布日期 | 2018 | | 实施日期 | 2019-03-01 | | 发布机构 | 工业和信息化部 |
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