路径: 主页 > YS/T > 第39页 > YS/T 1031-2025 | 标准编号 | YS/T 1031-2025 (YS/T1031-2025) | | 中文名称 | 化学气相沉积炉 | | 英文名称 | (Chemical vapor deposition furnace) | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H91 | | 国际标准分类 | 77.18 | | 发布日期 | 2025-08-19 | | 实施日期 | 2026-03-01 | | 旧标准 (被替代) | YS/T 1031-2015 | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本文件规定了化学气相沉积炉的结构型式与组成、技术要求、试验方法、检验规则和技术分级、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容本文件适用于制备金属及金属合金材料、金属复合材料、碳及碳化硅材料、无机材料等的化学气相沉积炉 | ......
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