路径: 主页 > YS/T > 第21页 > YS/T 1059-2015 | 标准编号 | YS/T 1059-2015 (YS/T1059-2015) | | 中文名称 | 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法 | | 英文名称 | Determination of total carbon content in trichlorosilane for silicon eqitaxy - Gas chromatographic method | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H17 | | 国际标准分类 | 77.040.30 | | 字数估计 | 7,716 | | 发布日期 | 2015-04-30 | | 实施日期 | 2015-10-01 | | 标准依据 | 工业和信息化部公告2015年第28号;行业标准备案公告2015年第7号(总第187号) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了硅外延用三氯氢硅中总碳含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定, 测定范围为0.000 05%～0.005%。 | YS/T 1059-2015
(Epitaxial silicon with trichlorosilane total carbon by Gas Chromatography)
ICS 77.040.30
H17
中华人民共和国有色金属行业标准
硅外延用三氯氢硅中总碳的测定
气相色谱法
2015-04-30发布
2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限
公司、新特能源股份有限公司。
本标准主要起草人:刘英杰、郑华荣、柯尊斌、刘新军、赵建为、王桃霞、张京、张云晖、杨红燕、陈喜清、
杨帅。
硅外延用三氯氢硅中总碳的测定
气相色谱法
1 范围
本标准规定了硅外延用三氯氢硅中总碳含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定,测定范围为0.00005%~0.005%。
2 方法提要
三氯氢硅样品在惰性气体保护下注入气相色谱仪,其中的含碳组分,在高温、富氢还原炉内全部转
化为甲烷,然后用氢火焰离子化检测器检测甲烷的含量,计算出三氯氢硅中的总碳量。转化反应如下:
HxSiCyClz+1/2(z+4y-x)H2
850℃
→Si+zHCl+yCH4
3 试剂和材料
3.1 氢气,体积分数≥99.999%。
3.2 惰性气体,体积分数≥99.999%。
3.3 压缩空气,经活性炭干燥。
3.4 丙酮,分析纯。
3.5 甲烷标准气体,补充气为氢气。
4 仪器设备
4.1 气相色谱仪:配有氢火焰离子化检测器(FID)、氢气还原炉,以及相应的色谱工作站。
4.2 色谱柱:碳分子筛色谱柱或其他等效色谱柱,尺寸为ϕ3mm×50cm。
4.3 氢气还原炉:炉内配备长40cm,内径3mm左右的内装石英砂的石英管。
4.4 微量注射器:10μL。
5 干扰因素
5.1 样品应置于冰箱中冷冻保存,防止样品挥发损失。
5.2 室内湿度应控制在40%以下,防止环境湿度对样品的影响。
5.3 惰性气体操作箱内的空气必须用高纯气体置换干净,否则样品水解,影响测试结果。
5.4 样品应避......
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