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收录标准: 222414 (2026-05-15)
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[PDF] YS/T 1164-2016 - 英文版
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标准名称
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YS/T 1164-2016
英文版
139
YS/T 1164-2016
[PDF]天数 >=3
硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
有效
基本信息
标准编号
YS/T 1164-2016 (YS/T1164-2016)
中文名称
硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
英文名称
Test method for the content of impurities in high purity quartz used for silicon material. Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry method
行业
有色冶金行业标准 (推荐)
中标分类
Q35
国际标准分类
81.040
字数估计
6,670
发布日期
2016-07-11
实施日期
2017-01-01
引用标准
GB/T 6682-2008; GB/T 8170
标准依据
工业和信息化部公告(2016年第37号);行业标准备案公告2016年第11号(总第203号);工业和信息化部公告2017年第23号
发布机构
工业和信息化部
范围
本标准规定了多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、砷含量的测试方法。本标准适用于多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、砷含量的测定,测定范围见表1。
YS/T 1164-2016 ICS 81.040 Q35 中华人民共和国有色金属行业标准 硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 2016-07-11发布 2017-01-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 前言 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位:亚洲硅业(青海)有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、洛阳中硅高科技有限 公司、新特能源股份有限公司。 本标准主要起草人:王体虎、魏东亮、蔡延国、宗冰、季静佳、陈英、张云晖、张园园、邱艳梅。 硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 1 范围 本标准规定了多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定方法。 本标准适用于多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定,测定范 围见表1。 表1 测定范围 元素 质量分数/(μg/g) 元素 质量分数/(μg/g) 铝 1.00~50.00 磷 0.10~10.00 钙 1.00~50.00 砷 0.10~10.00 钾 0.10~50.00 锌 0.10~10.00 钠 1.00~50.00 镍 0.10~10.00 铜 0.10~5.00 硼 0.10~10.00 镁 1.00~5.00 - - 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 6682-2008 分析实验室用水规格和试验方法 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 3 方法提要 称取一定量的试样,用氢氟酸溶解,使二氧化硅转化为四氟化硅除去,残渣用盐酸溶解。试样溶液 引入电感耦合等离子体原子发射光谱仪,在选定的测定条件下,测量试液中各元素的含量。 4 试剂 4.1 实验用水应符合GB/T 6682-2008中规定的一级水的要求。 4.2 氢氟酸(ρ≈1.14g/mL),每种杂质元素含量均低于100ng/L。 4.3 盐酸(ρ≈1.12g/mL),每种杂质元素含量均低于100ng/L。 4.4 盐酸(1+1)。 4.5 单元素标准贮存......
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YS/T 1164-2016
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