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| 标准编号 | YS/T 1290-2018 (YS/T1290-2018) | | 中文名称 | 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法 | | 英文名称 | Determination of silane content in tail gas of polycrystalline silicon production. Gas chromatographic method | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H17 | | 国际标准分类 | 77.040 | | 字数估计 | 7,745 | | 发布日期 | 2018-10-22 | | 实施日期 | 2019-04-01 | | 引用标准 | GB/T 3723; GB/T 6681 | | 标准依据 | 工业和信息化部公告2018年第54号 | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0.05%~10.00%。 |
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