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| 标准编号 | YS/T 1392-2020 (YS/T1392-2020) | | 中文名称 | 氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法 | | 英文名称 | (Determination of chlorosilane content by gas chromatography) | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H17 | | 字数估计 | 9,917 | | 发布日期 | 2020-12-09 | | 实施日期 | 2021-04-01 | | 标准依据 | 工业和信息化部公告2020年第48号 | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的方法。本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围(体积分数):二氯二氢硅为0.01 %~20 %,三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %~100 %。 |
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