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| 标准编号 | YS/T 1727-2025 (YS/T1727-2025) | | 中文名称 | 高纯钛溅射环 | | 英文名称 | High-purity titanium sputtering ring | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H64 | | 国际标准分类 | 77.150.50 | | 发布日期 | 2025-04-10 | | 实施日期 | 2025-11-01 | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本文件规定了高纯钛溅射环的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容本文件适用于电子薄膜制造用的高纯钛溅射环 |
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