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| 标准编号 | YS/T 25-1992 (YS/T25-1992) | | 中文名称 | 硅抛光片表面清洗方法 | | 英文名称 | (Polished silicon surface cleaning method) | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H81 | | 字数估计 | 2,275 | | 发布日期 | 3/9/1992 | | 实施日期 | 1/1/1993 | | 标准依据 | Development & Reform Commission Notice 2005 No. 45 |
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