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| 标准编号 | YS/T 937-2025 (YS/T937-2025) | | 中文名称 | 镍铂靶材 | | 英文名称 | (Nickel-platinum target) | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H68 | | 国际标准分类 | 77.150.99 | | 发布日期 | 2025-12-17 | | 实施日期 | 2026-07-01 | | 旧标准 (被替代) | YS/T 937-2013 | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本文件规定了镍铂靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于制备半导体薄膜用的各类镍铂靶材产。品 |
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