| 标准编号 | GB/T 37211.3-2022 (GB/T37211.3-2022) | | 中文名称 | 金属锗化学分析方法 第3部分:痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法 | | 英文名称 | Method for chemical analysis of metal germanium - Part 3: Determination of trace impurity elements content - Glow discharge mass spectrometry | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H17 | | 国际标准分类 | 77.040 | | 字数估计 | 10,140 | | 发布日期 | 2022-12-30 | | 实施日期 | 2023-04-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 37211.3-2022
ICS 77.040
CCSH17
中华人民共和国国家标准
金属锗化学分析方法
第3部分:痕量杂质元素的测定
辉光放电质谱法
2022-12-30发布
2023-04-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件是GB/T 37211《金属锗化学分析方法》的第3部分。GB/T 37211已经发布了以下部分:
---第1部分:砷含量的测定 砷斑法;
---第2部分:铝、铁、铜、镍、铅、钙、镁、钴、铟、锌含量的测定 电感耦合等离子体质谱法;
---第3部分:痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本文件起草单位:安徽光智科技有限公司、云南驰宏锌锗股份有限公司、国标(北京)检验认证有限
公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、东方电气(乐山)峨半高纯材料有限公司、有研国晶辉新材料有
限公司、广东先导稀材股份有限公司、广东飞成新材料有限公司。
本文件主要起草人:朱赞芳、谭秀珍、廖吉伟、刘红、吴王昌、黎亚文、李瑶、刘英波、李正美、崔丁方、
李江霖、段春芳。
引 言
金属锗用途十分广泛,是传统材料更是当代高科技新材料的重要组成部分。红外锗单晶、含锗光
纤、半导体锗片等材料广泛用于通讯技术、电子计算机、宇航开发、感光材料、光电材料、能源材料等领
域。锗具有亲石、亲硫、亲铁、亲有机的化学性质,很难独立成矿,一般以分散状态分布于其他元素组成
的矿物中,成为多种金属矿床的伴生组分。GB/T 37211《金属锗化学分析方法》是金属锗化学分析方法
的系列标准,对于提高金属锗生产技术能力和工艺控制水平,满足国内外市场需求有重要意义。
GB/T 37211由3个部分构成。
---第1部分:砷含量的测定 砷斑法。目的在于确立金属锗中的砷含量的测定方法。
---第2部分:铝、铁、铜、镍、铅、钙、镁、钴、铟、锌含量的测定 电感耦合等离子体质谱法。目的在
于确立金属锗中铝、铁、铜、镍、铅、钙、镁、钴、铟、锌含量的测定方法。
---第3部分:痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法。目的在于确立金属锗中痕量杂质元素的
测定方法。
随着社会的发展和技术进步,锗的高端应用在不断地拓展,用辉光放电质谱仪测定金属锗中杂质元
素含量已成为应用端的日常需求,本文件的制定对于研究锗的理化性能、把控产品质量等具有十分重要
的意义。在一定程度上能够加强产品质量基础,为质量升级提供技术支撑,具有较大的社会效益。
金属锗化学分析方法
第3部分:痕量杂质元素的测定
辉光放电质谱法
1 范围
本文件规定了辉光放电质谱法测定金属锗中痕量杂质元素含量的方法。
本文件适用于金属锗中痕量杂质元素含量的测定,测定范围为0.001mg/kg~2mg/kg。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
GB/T 14264 半导体材料术语
3 术语和定义
GB/T 14264界定的术语和定义适用于本文件。
4 方法原理
样品作为阴极进行辉光放电,在氩气气氛下,其表面原子被溅射而脱离样品进入辉光放电等离子体
中,在等离子体中离子化后被导入质谱仪。在各元素的同位素质量数处以预设的扫描点数和积分时间
对相应谱峰积分,所得面积即为谱峰强度。有标准样品时,首先在相同测定条件下对标准样品进行独立
测定获得相对灵敏度因子,然后用该相对灵敏度因子计算出各元素的质量分数;无标准样品时,计算机
根据仪器软件中的“典型相对灵敏度因子”自动计算出各元素的质......
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