| 标准编号 | YS/T 34.1-2011 (YS/T34.1-2011) | | 中文名称 | 高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定高纯砷中杂质含量 | | 英文名称 | Method for chemical analysis of the high-purity arsenic. Inductive coupling plasma mass spectrum(ICP-MS) for determinating the concentration of elements in the high-purity arsenic | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H17 | | 国际标准分类 | 77.040.30 | | 字数估计 | 9,972 | | 发布日期 | 2011-12-20 | | 实施日期 | 2012-07-01 | | 旧标准 (被替代) | YS/T 34.1-1992; YS/T 34.2-1992 | | 标准依据 | 工业和信息化部公告2011年第43号 | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | YS/T 34的本部分规定了高纯砷中金属杂质含量的测定方法, 采用电感耦合等离子质谱法测定砷中镁、铬、镍、铜、锌、银、锑、铅、铋、钠、钾、铝、钙、铁等14个杂质含量。本标准适用于99.999%～99.99999%高纯砷中金属杂质含量的测定。测定范围1×1000000/1% ～1000×10000000/1% 。 | YS/T 34.1-2011
Method for chemical analysis of the high-purity arsenic.Inductive coupling plasma mass spectrum(ICP-MS) for determinating the concentration of elements in the high-purity arsenic
ICS 77.040.30
H17
中华人民共和国有色金属行业标准
代替YS/T 34.1~34.2-1992
高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子
体质谱法(ICP-MS)测定
高纯砷中杂质含量
2011-12-20发布
2012-07-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
YS/T 34《高纯砷化学分析方法》包括3个部分:
---第1部分:高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定高纯砷中杂质
含量;
---第2部分:高纯砷化学分析方法 极谱法测定硒量;
---第3部分:高纯砷化学分析方法 极谱法测定硫量。
本部分是YS/T 34的第1部分。
本部分代替YS/T 34.1-1992《高纯砷化学分析方法 孔雀绿分光光度法测定锑量》和YS/T 34.2-
1992《高纯砷化学分析方法 化学光谱法测钴、锌、银、铜、钙、铝、镍、铬、铅、镁、铁量》。
本部分与YS/T 34.1~34.2-1992标准相比,主要有如下变动:
---采用电感耦合等离子质谱法测定高纯砷中镁、铬、镍、铜、锌、银、铅、铋、钠、钾、铝、钙、铁、锑等
14个杂质的含量。
---按照GB/T 1.1-2009《标准化工作导则 第1部分:标准的结构和编写》的规定编写。
本部分由全国有色金属标准化技术委员会归口。
本部分负责起草单位:峨嵋半导体材料厂、峨眉山嘉美高纯材料有限公司。
本部分主要起草人:程高明、邹同贵、文英、唐云博、廖敏。
本部分所代替标准的历次版本发布情况为:
---YS/T 34.1~34.2-1992。
高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子
体质谱法(ICP-MS)测定
高纯砷中杂质含量
1 范围
YS/T 34的本部分规定了高纯砷中金属杂质含量的测定方法,采用电感耦合等离子质谱法测定砷
中镁、铬、镍、铜、锌、银、锑、铅、铋、钠、钾、铝、钙、铁等14个杂质含量。
本部分适用于99.999%~99.99999%高纯砷中金属杂质含量的测定。测定范围为1×10-7%~
1000×10-7%。
2 方法提要
在120℃~130℃的条件下,试料与氯化氢-氯混合气体反应,生成三氯化砷及杂质元素氯化物,低
沸点的三氯化砷挥发后随气体流出,用硝酸溶解留下来的杂质氯化物。推荐使用铍、铟、铀作内标,常规
等离子体质谱法测定镁、铬、镍、铜、锌、银、锑、铅、铋,用冷等离子体质谱法测定钠、钾、铝、钙、铁。
3 试剂
3.1 试剂
3.1.1 盐酸(ρ1.19):RM-B或BV-Ⅲ,亚沸蒸馏后使用。
3.1.2 硝酸(ρ1.42):RM-B或BV-Ⅲ,亚沸蒸馏后使用。
3.1.3 硫酸(ρ1.84):优级纯。
3.1.4 过氧化氢(30%):分析纯。
3.1.5 去离子水:电阻率≥18MΩ·cm。
3.1.6 氩≥99.99%。
3.2 标准溶液
3.2.1 元素贮备标准溶液
所用标准贮备液为国家标准。铀的浓度为500μg/mL,其余元素均为1000μg/mL。
3.2.2 内标溶液
1号内标溶液(每毫升含500ng铍、500ng铟、500ng铀):移取0.5mL铍标准溶液、0.5mL铟标
准溶液、1.0mL铀标准溶液,置于1L聚丙烯容量瓶......
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