GB/T 29056-2025 相关标准英文版PDF

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GB/T 29056-2025	英文版	219	GB/T 29056-2025	[PDF]天数 <=3	硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法	GB/T 29056-2025	有效
GB/T 29056-2012	英文版	229	GB/T 29056-2012	[PDF]天数 <=3	硅外延用三氯氢硅化学分析方法　硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定　电感耦合等离子体质谱法	GB/T 29056-2012	有效

基本信息
标准编号	GB/T 29056-2025 (GB/T29056-2025)
中文名称	硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法
英文名称	Determination of impurity content in trichlorosilane for silicon epitaxy - Inductively coupled plasma mass spectrometry
行业	国家标准 (推荐)
中标分类	H17
国际标准分类	77.040
字数估计	10,143
发布日期	2025-10-31
实施日期	2026-05-01
旧标准 (被替代)	GB/T 29056-2012
发布机构	国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

GB/T 29056-2025: 硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法 ICS 77.040 CCSH17 中华人民共和国国家标准代替GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法 2025-10-31发布 2026-05-01实施国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会发布前言本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。本文件代替GB/T 29056-2012《硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法》,与GB/T 29056-2012相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下: a) 增加了锂、钠等元素的测定,更改了测定范围(见第1章,2012年版的第1章); b) 更改了方法原理(见第4章,2012年版的第2章); c) 增加了干扰因素(见第5章); d) 增加了试验条件(见第6章); e) 更改了试剂和材料(见第7章,2012年版的第3章); f) 更改了仪器设备(见8.1,2012年版的第4章); g) 增加了分析天平、电加热板、器皿等要求(见8.2~8.8); h) 增加了样品采样的要求(见第9章); i) 删除了分析步骤中的安全措施(见2012年版的5.1); j) 增加了仪器准备(见10.1); k) 更改了试料、平行试验、标准溶液的配制和测定步骤(见10.2、10.3、10.5、10.7,2012年版的 5.2、5.3、5.5、5.6); l) 更改了精密度要求(见第11章,2012年版的第7章); m)删除了质量保证与控制(见2012年版的第8章); n) 更改了试验报告(见第12章,2012年版的第9章)。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。本文件起草单位:洛阳中硅高科技有限公司、江苏鑫华半导体科技股份有限公司、四川永祥新能源有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、青海南玻新能源科技有限公司、青海丽豪清能股份有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司。本文件主要起草人:万烨、郭树虎、刘见华、曹俊英、赵培芝、吴作木、宋丹、王春明、魏东亮、李强、冉祎、康俊勤、甘俊、汤艳。本文件于2012年首次发布,本次为第一次修订。硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法警示---使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验。本文件并未指出所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。 1 范围本文件描述了硅外延用三氯氢硅中锂、硼、钠、镁、铝、钾、钙、磷、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、钼、砷、铅等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。本文件适用于硅外延用三氯氢硅中杂质元素含量的测定。各元素测定范围见表1。表1 各元素测定范围元素测定范围 ng/g 锂 0.01~10 硼 0.01~10 钠 0.01~10 镁 0.01~10 铝 0.01~10 钾 0.01~10 钙 0.01~10 磷 0.01~10 钛 0.01~10 钒 0.005~10 铬 0.01~10 锰 0.01~10 铁 0.01~1......

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