搜索结果: GB/T 40344.4-2025, GB/T40344.4-2025, GBT 40344.4-2025, GBT40344.4-2025
| 标准编号 | GB/T 40344.4-2025 (GB/T40344.4-2025) | | 中文名称 | 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分：涡轮分子泵 | | 英文名称 | Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance - Part 4: Turbomolecular vacuum pumps | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | J78 | | 国际标准分类 | 23.160 | | 字数估计 | 14,140 | | 发布日期 | 2025-08-01 | | 实施日期 | 2025-11-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | GB/T 40344.4-2025: 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分：涡轮分子泵
ICS 23.160
CCSJ78
中华人民共和国国家标准
真空技术 真空泵性能测量标准方法
第4部分:涡轮分子泵
(ISO 21360-4:2018,IDT)
2025-08-01发布
2025-11-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅲ
引言 Ⅳ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 符号 3
5 测试方法 3
5.1 测试气体 3
5.2 体积流率(抽速)的测量 3
5.3 最大流量的测量 4
5.4 临界前级压力的测量 4
5.5 压缩比测量 5
5.6 基础压力的测量 5
5.7 振动测量 5
6 测试报告 5
6.1 体积流率 6
6.2 压缩比 6
6.3 最大流量 6
6.4 临界前级压力 6
6.5 基础压力 7
6.6 振动 7
附录A(资料性) 公式(4)和公式(5)的推导 8
参考文献 9
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件是GB/T 40344《真空技术 真空泵性能测量标准方法》的第4部分。GB/T 40344已经发
布了以下部分:
---第1部分:总体要求;
---第2部分:容积真空泵;
---第3部分:机械增压泵的特定参数;
---第4部分:涡轮分子泵。
本文件等同采用ISO 21360-4:2018《真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分:涡轮分子
泵》。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中国机械工业联合会提出。
本文件由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。
本文件起草单位:北京中科科仪股份有限公司、沈阳真空技术研究所有限公司、沈阳汇真真空技术
有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、兰州空间技术物理研究所、北京东方计量测试研究所、中科九微
科技股份有限公司、深圳市贺盛真空科技有限公司、宁波卓尔汽车零部件有限公司、浙江伟航真空科技
有限公司、中核第七研究设计院有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、北京通嘉宏瑞科技有限公司、
安徽皖仪科技股份有限公司、湘潭宏大真空技术股份有限公司、中科光智(重庆)科技有限公司、马德宝
真空设备集团有限公司、合肥昱驰真空技术有限公司、深圳市美格真空科技有限公司、宝鸡西工钛合金
制品有限公司、苏州苏磁智能科技有限公司。
本文件主要起草人:李赏、张勤德、李兵、宋海燕、孙足来、宋青竹、乔忠路、陆学贵、李松波、成永军、
赵澜、卢耀文、王欢、邓高飞、王浩为、李学勇、白刚、郭传渠、林刚直、闫昊、王子圣、言继春、言文静、雷晓宏、
王国东、黄文平、黄乐、秦占阳、王于祥、张宝夫、郁晋军、董欣、李光俊、赵子博、尹成科、尤志强、张浩、
顾艳庆、邹蒙、武涛、吴晓云、孙雯君、陈联、孙冬花、罗守庚、王玲玲。
引 言
原有的真空泵标准体系,对某些类真空泵性能参数的测量提出了各自的要求,测量装置和性能测量
方法等内容多有重复,且表述不清晰。特定真空泵标准的制定以总体要求为基础,依据各自的特性来测
定性能数据、极限值和特定运行条件。当特定真空泵的测量方法与总体要求存在差异时,以特定标准为
准。GB/T 40344《真空技术 真空泵性能测量标准方法》旨在从真空泵性能共性和特性的角度提出标
准测量方法,即总体要求和特定真空泵标准,拟由6个部分构成。
---第1部分:总体要求。旨在提供一份用于测量真空泵性能参数的基础文件,简化了今后对特定
真空泵标准的制定。包括了三种体积流率的测量方法,以及真空基础压力、压缩比和临界前级
压力的测量方法。
---第2部分:容积真空泵。旨在以总体要求为基础,对容积真空泵的性能测量标准方法加以补
充,包含了容积真空泵的体积流率、基础压力、水蒸气容限、功耗和最低启动温度的测量方法。
---第3部分:机械增压泵的特定参数。旨在描述机械增压泵的最大容许压差、有效压缩比、零流
量压缩比和溢流阀压差的测量方法和特殊要求。
---第4部分:涡轮分子泵。旨在以总体要求为基础,描述了以流量法和小孔法测量涡轮分子泵体
积流率的方法和装置,以及最大流量、临界前级压力、压缩比、基础压力、振动等参数的测量方
法和测量装置。
---第5部分:非蒸散型吸气剂(NEG)真空泵。旨在以总体要求为基础,对非蒸散型吸气剂真空
泵的性能测量标准方法加以补充。
---第6部分:低温真空泵。旨在以总体要求为基础,对低温真空泵的性能测量标准方法加以
补充。
真空技术 真空泵性能测量标准方法
第4部分:涡轮分子泵
1 范围
本文件及GB/T 40344.1描述了涡轮分子泵的性能测量方法,适用于所有规格和所有型式的涡轮
分子泵。包括:
---带机械轴承或磁轴承的;
---带/不带附加牵引级或其他转子抽气级的;
---带一个或多个进气口的。
由于涡轮分子泵有前级泵支持,体积流率-入口压力的曲线不能完全确定涡轮分子泵的性能。同
时,涡轮分子泵的驱动装置和前级压力均影响其性能参数。
下列内容用以补充确定其性能参数:
---涡轮分子泵的流量和前级压力;
---压缩比曲线(涡轮分子泵的压缩比-前级压力)。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
GB/T 40344.1-2021 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第1部分:总体要求(ISO 21360-1:
2020,IDT)
3 术语和定义
GB/T 40344.1界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
pc
当涡轮分子泵仍具有p3/p1 大于10的压缩比,且吹扫气体关闭时,涡轮分子泵和驱动装置能连续
运行而不发生损坏或过载的状态下出气口处的最大前级压力(p3)。
注1:p1 是涡轮分子泵入口处的(高)真空压力。在此工......
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