搜索结果: GBZ122-2025
| 标准编号 | GB/Z 122-2025 (GB/Z122-2025) | | 中文名称 | 表面化学分析 辉光放电质谱 操作程序 | | 英文名称 | Surface chemical analysis - Glow discharge mass spectrometry - Operating procedures | | 行业 | 国家标准 | | 中标分类 | G04 | | 国际标准分类 | 71.040.40 | | 字数估计 | 18,182 | | 发布日期 | 2025-12-03 | | 实施日期 | 2025-12-03 | GB/Z 122-2025: 表面化学分析 辉光放电质谱 操作程序
ICS 71.040.40
CCSG04
中华人民共和国国家标准化指导性技术文件
表面化学分析 辉光放电质谱 操作程序
Operatingprocedures
2025-12-03发布
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 原理 1
5 仪器 1
6 常规操作 5
7 校准 6
8 数据采集 8
9 定量 9
参考文献 12
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件等同采用ISO/T S15338:2020《表面化学分析 辉光放电质谱 操作程序》,文件类型由
ISO 的技术规范调整为我国的标准化指导性技术文件。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC608)提出并归口。
本文件起草单位:中国科学院上海硅酸盐研究所、西北核技术研究院、北方工业大学、宁波新材料测
试评价中心有限公司。
本文件主要起草人:卓尚军、钱荣、盛成、李志明、陈吉文、曾旺、李飞腾、赵迎、刘安琦、高捷、申如香、
周紫馨、李建亭、杨秋、时晓露、孔维涛。
表面化学分析 辉光放电质谱 操作程序
1 范围
本文件给出了辉光放电质谱(GD-MS)的操作和使用程序。目前在用的几种GD-MS系统来自不同
的制造商,本文件描述了所适用操作程序的差异。
注:本文件旨在配合仪器制造商的操作手册和推荐内容使用。
2 规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3 术语和定义
本文件没有术语和定义。
4 原理
在辉光放电源中,在阴极(待测样品)和阳极之间施加一个电位差,通过导入一种惰性气体(通常为
氩气)就可以形成等离子体。这种电位差可以是直流的(DC)或射频的(RF),RF的优点是可以直接分
析电绝缘材料。等离子体中形成的惰性气体离子和快速中性粒子被引入到样品表面,它们的碰撞引起
样品表面的溅射而产生中性粒子。这些中性粒子扩散到等离子体中,随后在等离子体的等电位区域内
被电离,然后可以导入质谱仪进行分析。磁质谱和飞行时间质谱都可用于分析。
5 仪器
5.1 离子源
GD-MS使用的离子源有两种基本类型,一种是低流速或“静态”离子源;另一种是快流速离子源。
这两种类型的离子源都可以接受针状或片状试样。典型的针状试样长度为20mm、直径为3mm,而典
型的片状试样直径为20mm~40mm。有关试样大小的更多详细信息稍后提供。
在低流速离子源中,等离子体样品池实际上是一个密封单元,固定在高真空室内,并有一个狭缝或
小孔为出口,以允许离子离开样品池而进入质谱仪。样品池的本体保持阳极电位,即质谱仪的加速电
位,而样品则保持在阴极电位,通常比阳极电位低1kV。在这种类型的离子源中,氩气流速通常为
1sccm(标准状况下体积流速,cm3/min)或更小,所使用的气体(通常是氩气)宜具有非常高的纯度,
99.99995%或更高。等离子的功率相对比较低,一般为2W或3W;电位差通常为1kV,电流为2mA
或3mA。
图1是针状样品池低流速离子源的几何形状示意图。气体通过一个金属管引入样品池,金属管与
样品池......
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