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| 标准编号 | JJG 28-2019 (JJG28-2019) | | 中文名称 | 平晶 | | 英文名称 | Optical Flats | | 行业 | 计量行业标准 | | 中标分类 | A52 | | 国际标准分类 | 17.040 | | 字数估计 | 34,336 | | 发布日期 | 2019 | | 实施日期 | 2020-03-27 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局 | JJG 28-2019
Optical Flats
中华人民共和国国家计量检定规程
平 晶
2019-09-27发布
2020-03-27实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布
平晶检定规程
代替JJG28-2000
归 口 单 位:全国几何量工程参量计量技术委员会
主要起草单位:湖南省计量检测研究院
中国计量科学研究院
参加起草单位:苏州慧利仪器有限责任公司
中国兵器工业第205研究所
本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释
本规程主要起草人:
陈 勇 (湖南省计量检测研究院)
张 恒 (中国计量科学研究院)
曾 琰 (湖南省计量检测研究院)
刘丽娟 (湖南省计量检测研究院)
参加起草人:
韩 森 (苏州慧利仪器有限责任公司)
柏文琦 (湖南省计量检测研究院)
王生云 (中国兵器工业第205研究所)
目 录
引言 (Ⅱ)
1 范围 (1)
2 引用文件 (1)
3 概述 (1)
4 计量性能要求 (3)
4.1 平行度 (3)
4.2 工作面平面度 (3)
4.3 非工作面的平面度 (4)
4.4 稳定性 (4)
5 通用技术要求 (5)
5.1 外观及表面质量 (5)
5.2 外形尺寸 (5)
5.3 长平晶十字刻线位置 (6)
5.4 两端面夹角 (6)
5.5 工作面与圆柱母线的垂直度 (7)
6 计量器具控制 (7)
6.1 检定项目和主要检定设备 (7)
6.2 检定条件 (7)
6.3 检定方法 (9)
6.4 检定结果处理 (12)
6.5 检定周期 (12)
附录A 平晶表面疵病的尺寸及数量 (13)
附录B 相移式激光等厚干涉测量法 (15)
附录C 等厚干涉测量法 (18)
附录D 等倾干涉测量法 (20)
附录E 四面互检法检定长平晶数据处理示例 (22)
附录F 长平晶自重变形量 (25)
附录G 检定证书和检定结果通知书内页格式 (27)
引 言
JJF1001-2011 《通用计量术语及定义》、JJF1002-2010 《国家计量检定规程编写
规则》、JJF1059.1-2012 《测量不确定度评定与表示》共同构成本规程修订工作的基
础性系列技术法规。
本规程与JJG28-2000 《平晶》相比,除编辑性修改外,主要技术变化如下:
---更正了JJG28-2000 《平晶》的印刷错误:
JJG28-20006.3.8.2b)中式 (6):u2=
12u1
,更正为:ub=
12ua
[见现版
式 (5)];
JJG28-2000附录C中表C.1的表头第8列:Ei= (Li/Ln)Kn,更正为:Ei=
(Li/Ln)ΔKn (见现版表E.1);
JJG28-2000附录D中式 (D.2):ΔF= d
÷×F96,更正为:ΔF=
×F96
[见现版式 (C.2)]。
---310mm长平晶两次周期检定平面度之差从0.020μm放宽为0.030μm (见
4.4)。
---依据JJG146-2011 《量块》,取消了6等量块,改用5等量块 (见6.3.2)。
---取消了平行平晶平行度在激光平面等厚干涉仪上检定的方法。
---增加相移式等厚测量装置的结构概述、测量方法 (见附录B)等相关内容。
---增加标准平晶F96范围内的平面度计算方法 (见附录C)
本规程的历次版本发布情况:
---JJG28-2000;
---JJG28-1991;
---JJG28-1980。
平晶检定规程
1 范围
本规程适用于平晶 (包括平面平晶、平行平晶和长平晶)的首次检定、后续检定和
使用中检查。
2 引用文件
本规程引用下列文件:
GB/T 903-2019 无色光学玻璃
JB/T 7401-1994 平面平晶
JB/T 7402-1994 平行平晶
ISO 14999-4:2015 (E)光学和光子学 光学元件和光学系统的干涉仪测量 第4
部分:在ISO 10110中所明确规定的公差说明和评价 (Opticsandphotonics-Interfero-
凡是注日期的引用文件,......
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