[PDF] GB/T 14142-1993 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 14142-1993 | 279 | GB/T 14142-1993 | <=3 | 硅外延层晶体完整性检查方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 14142-1993 (GB/T14142-1993) |
| 中文名称 | 硅外延层晶体完整性检查方法 |
| 英文名称 | Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon by etching techniques |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | H26 |
| 国际标准分类 | 29.040.30 |
| 字数估计 | 7,784 |
| 发布日期 | 2/6/1993 |
| 实施日期 | 10/1/1993 |
| 发布机构 | 国家技术监督局 |
| 范围 | 本标准规定了用化学腐蚀显示, 并用金相显微镜检验硅外延层晶体缺陷的方法。本标准适用于硅外延层中堆垛层错和位错密度测量。硅外延层厚度应大于2μm, 测量范围为0~10000cm-2。 |
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