[PDF] GB/T 16523-1996 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 16523-1996 | 279 | GB/T 16523-1996 | <=3 | 圆形石英玻璃光掩模基板规范 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 16523-1996 (GB/T16523-1996) |
| 中文名称 | 圆形石英玻璃光掩模基板规范 |
| 英文名称 | Specification for round quartz photomask substrates |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | L55 |
| 国际标准分类 | 31.2 |
| 字数估计 | 8,840 |
| 发布日期 | 9/9/1996 |
| 实施日期 | 5/1/1997 |
| 引用标准 | GB 191-1990; GB 2828-1987; GB 2829-1987; GB 7328-1987; GB 9622.2-1988, |
| 采用标准 | SEMI P4-1992, MOD |
| 发布机构 | 国家技术监督局 |
| 范围 | 本标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。本标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。 |
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