路径: 主页 > GB/T > 第204页 > GB/T 16527-1996 | 标准编号 | GB/T 16527-1996 (GB/T16527-1996) | | 中文名称 | 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范 | | 英文名称 | Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L90 | | 国际标准分类 | 31.2 | | 字数估计 | 6,670 | | 发布日期 | 9/9/1996 | | 实施日期 | 5/1/1997 | | 引用标准 | GB 191-1990; GB 2828-1987; GB 2829-1987; GB 7238-1987; GB 7239-1987; GB/T 15871-1995; GB/T 15870-1995; SJ/T 10584-1994, | | 采用标准 | SEMI P3-1990, MOD | | 发布机构 | 国家技术监督局 | | 范围 | 本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。 | ......
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