GB/T 16527-1996 相关标准英文版PDF
| 标准号码 | 价格美元 | 第2步(购买) | 交付天数 | 标准名称 |
| GB/T 16527-1996 | 209 | GB/T 16527-1996 | [PDF]天数 <=3 | 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 16527-1996 (GB/T16527-1996) |
| 中文名称 | 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范 |
| 英文名称 | Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | L90 |
| 国际标准分类 | 31.2 |
| 字数估计 | 6,670 |
| 发布日期 | 9/9/1996 |
| 实施日期 | 5/1/1997 |
| 引用标准 | GB 191-1990; GB 2828-1987; GB 2829-1987; GB 7238-1987; GB 7239-1987; GB/T 15871-1995; GB/T 15870-1995; SJ/T 10584-1994, |
| 采用标准 | SEMI P3-1990, MOD |
| 发布机构 | 国家技术监督局 |
| 范围 | 本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。 |
......