[PDF] GB/T 16943-2009 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 16943-2009 | 189 | GB/T 16943-2009 | <=3 | 电子工业用气体 氦 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 16943-2009 (GB/T16943-2009) |
| 中文名称 | 电子工业用气体 氦 |
| 英文名称 | Gas for electronic industry -- Helium |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | G86 |
| 国际标准分类 | 71.100.20 |
| 字数估计 | 8,827 |
| 发布日期 | 2009-10-30 |
| 实施日期 | 2010-05-01 |
| 旧标准 (被替代) | GB/T 16943-1997 |
| 引用标准 | GB 190-2009; GB/T 3723; GB 5099; GB/T 5832.1; GB/T 6285; GB 7144; GB/T 8984; GB 14194; GB 16912; 气瓶安全监察规程; 压力容器安全监察规程; 压力管道安全管理与监察规定 |
| 标准依据 | 国家标准批准发布公告2009年第12号(总第152号) |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 范围 | 本标准规定了氦的技术要求, 试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和众态氦, 以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气, 也用作载气和保护气等。 |
GB/T 16943-2009
Gas for electronic industry.Helium
ICS ７１．１００．２０
G８６
中华人民共和国国家标准
GB/T １６９４３-２００９
代替GB/T １６９４３-１９９７
电子工业用气体 氦
２００９-１０-３０发布
２０１０-０５-０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准代替GB/T １６９４３-１９９７《电子工业用气体 氦》。
本标准与GB/T １６９４３-１９９７相比主要变化如下：
---修改氦的适用范围（GB/T １６９４３-１９９７的第１章，本版的第１章）；
---修改规范性引用文件（GB/T １６９４３-１９９７的第２章，本版的第２章）；
---修改技术指标内容：增加一类产品纯度和杂质含量（GB/T １６９４３-１９９７的第３章，本版的第
３章）；
---修改瓶装氦抽样方法（GB/T １６９４３-１９９７的４．１，本版的４．１．１）；
---增加集装阁装、大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氦产品并规定检验方法（见４．１．１）；
---增加管道输送的氦产品并规定检验方法（见４．１．２）；
---增加氦的采样安全要求（见４．１．３）；
---增加新的分析方法：增加用氦放电离子化气相色谱法测定氦中的氧、一氧化碳和二氧化碳组
分；增加其他方法测定总烃含量；当出现多种分析方法时，增加规定仲裁方法（见４．３）；
---修改水分的测定方法（GB/T １６９４５-１９９７的４．５，本版的４．５）；
---修改标志、包装、贮运及安全（GB/T １６９４３-１９９７的第５章，本版的第５章）；
---增加安全要求（见５．６）；
---增加规范性附录Ａ，并把采用氦离子化气相色谱法测定氦中的氧、氮、一氧化碳和二氧化碳组
分的方法写入该附录（见附录Ａ）。
本标准的附录Ａ为规范性附录。
本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会归口。
本标准起草单位：西南油气田分公司成都天然气化工总厂、北京氦普北分气体工业有限公司、西南
化工研究设计院。
本标准主要起草人：刘泽军、付永成、赵俊秀、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
---GB/T １６９４３-１９９７。
GB/T １６９４３-２００９
电子工业用气体 氦
１ 范围
本标准规定了氦的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦，以及经纯化方法得到
的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。
分子式：Ｈｅ。
相对分子质量：４．００３（按２００５年国际相对原子质量）。
２ 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有
的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
GB １９０-２００９ 危险货物包装标志
GB/T ３７２３ 工业用化学产品采样安全通则
GB ５０９９ 钢质无缝气瓶
GB/T ５８３２．１ 气体中湿度的测定 电解法
GB/T ６２８５ 气体中微量氧的测定 电化学法
GB ７１４４ 气瓶颜色标志
GB/T ８９８４ 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法
GB １４１９４ 永久气体气瓶充装规定
GB １６９１２ 深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程
气瓶安全监察规程
压力容器安全监察规程
压力管道安全管理与监察规定
３ 技术要求
３．１ 氦的质量应符合表１的要求。
表１ 技术指标
项 目 指 标
氦气（Ｈｅ）纯度（体积分数）／１０-２ ≥ ９９．９９９９ ９９．９９９５
一氧化碳（ＣＯ）和二氧化碳（ＣＯ２）总含量（体积分数）／１０-６ ＜
一氧化碳：０．１
二氧化碳：０．１
氮（Ｎ２）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ０．５ ２
氧（Ｏ２）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ０．２ ０．５
总烃（以甲烷计）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ０．１ ０．５......