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[PDF] GB/T 16945-2009 - 英文版

标准号码	内文	价格美元	第2步(购买)	交付天数	标准名称	状态
GB/T 16945-2009	英文版	149	GB/T 16945-2009	[PDF]天数 >=2	电子工业用气体氩	有效

基本信息
标准编号	GB/T 16945-2009 (GB/T16945-2009)
中文名称	电子工业用气体氩
英文名称	Gas for electronic industry -- Argon
行业	国家标准 (推荐)
中标分类	G86
国际标准分类	71.100.20
字数估计	5,539
发布日期	2009-10-30
实施日期	2010-05-01
旧标准 (被替代)	GB/T 16945-1997
引用标准	GB/T 3723; GB/T 4842-2006; GB/T 5832.1; GB/T 8984
标准依据	国家标准批准发布公告2009年第12号(总第152号)
发布机构	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
范围	本标准规定了氩的技术要求, 试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。

GB/T 16945-2009 Gas for electronic industry.Argon ICS ７１．１００．２０ G８６中华人民共和国国家标准 GB/T １６９４５-２００９代替GB/T １６９４５-１９９７电子工业用气体　氩２００９-１０-３０发布２０１０-０５-０１实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布前言本标准代替GB/T １６９４５-１９９７《电子工业用气体　氩》。本标准与GB/T １６９４５-１９９７相比主要变化如下： ---修改氩的适用范围（GB/T １６９４５-１９９７的第１章，本版的第１章）； ---增加规范性引用文件（GB/T １６９４５-１９９７的第２章，本版的第２章）； ---修改技术指标内容：增加一类纯度和杂质含量（GB/T １６９４５-１９９７的第３章，本版的第３章）； ---修改瓶装氩抽样方法（GB/T １６９４５-１９９７的４．１．１，本版的４．１．１）； ---增加集装阁装、大容积钢质无缝气瓶和杜瓦罐装氩产品并规定检验方法（见４．１．１）； ---修改管道输送的氩抽样方法（GB/T １６９４５-１９９７的４．１．１，本版的４．１．２）； ---增加氩的采样安全要求（见４．１．３）； ---修改氢、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的测定方法（GB/T １６９４５-１９９７的４．３、４．４、４．５，本版的４．３）； ---增加其他方法测定总烃；当出现多种分析方法时，增加规定仲裁方法（见４．３、４．４、４．５）； ---修改水分的测定方法（GB/T １６９４５-１９９７的４．７，本版的４．５）； ---修改标志、包装、贮运及安全（GB/T １６９４５-１９９７的第５章，本版的第５章）。本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会归口。本标准起草单位：北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院。本标准主要起草人：赵俊秀、周鹏云。本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ---GB/T １６９４５-１９９７。 GB/T １６９４５-２００９电子工业用气体　氩１　范围本标准规定了氩的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。分子式：Ａｒ。相对分子质量：３９．９４８（按２００５年国际相对原子质量）。２　规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T ３７２３　工业用化学产品采样安全通则 GB/T ４８４２-２００６　氩 GB/T ５８３２．１　气体中湿度的测定　电解法 GB/T ８９８４　气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定　气相色谱法３　技术要求３．１　电子工业用气体氩的质量应符合表１的要求。表１　技术指标项　目指　标氩气（Ａｒ）纯度（体积分数）／１０-２ ≥ ９９．９９９９９９．９９９２氢（Ｈ２）含量（体积分数）／１０-６＜０．１１氮（Ｎ２）含量（体积分数）／１０-６＜０．５５氧（Ｏ２）含量（体积分数）／１０-６＜０．２０．５一氧化碳（ＣＯ）和二氧化碳（ＣＯ２）总含量（体积分数）／１０-６＜一氧化碳：０．１二氧化碳：０．１０．５总烃（以甲烷计）含量（体积分数）／１０-６＜０．１０．５水分（Ｈ２Ｏ）含量（体积分数）／１０-６＜０．２０．５杂质总含量（体积分数）／１０-６ ≤ １８颗粒供需双方商定供需双方商定３．２　液态氩的水分应气化后测定。４　试验方法４．１　抽样、判定和复验４．１．１　瓶装、集装阁装、大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氩产品应逐一检验并验收。当检验结果有 GB/T １６９４５-２００９任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。生产企业应确保每一包装氩产品符合本标准技术要求。４．１．２　对稳定生产的管道输送的气态氩由供需双方确定抽样方案。企业应确保管道输送的氩产品符合本标准技术要求。４．１．３　氩采样安全应符合GB/T ３７２３的相关规定。４．２　氩纯度氩纯度按式（１）计算： ＝１００-（１＋２＋３＋４＋５＋６）×１０-４（１）式中： ---氩纯度（体积分数）／１０-２； １---氢含量（体积分数）／１０-６； ２---氮含量（体积分数）／１０-６； ３---氧含量（体积分数）／１０-６； ４---一氧化碳＋二氧化碳含量（体积分数）／１０-６； ５---总烃（以甲烷计）含量（体积分数）／１０-６； ６---水分含量（体积分数）／１０-６。４．３　氢、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳含量的测定氢、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的测定方法按GB/T ４８４２-２００６中４．３的规定。仪器检测限：０．０５×１０-６（体积分数）。４．４　总烃（以甲烷计）含量的测定按GB/T ８９８４规定的方法或其他等效的方法测定氩中的微量总烃含量。当以上测定结果有异议时，以GB/T ８９８４规定的方法为仲裁方法。仪器检测限：０．０５×１０-６（体积分数）。４．５　气体标准样品气体标准样品中的组分含量为（１～５）×１０-６（体积分数），平衡气为氩。４．６　水分含量的测定按GB/T ５８３２．１执行。仪器检测限：０．０５×１０-６（......

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