[PDF] GB/T 16945-2009 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 16945-2009 | 149 | GB/T 16945-2009 | <=2 | 电子工业用气体 氩 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 16945-2009 (GB/T16945-2009) |
| 中文名称 | 电子工业用气体 氩 |
| 英文名称 | Gas for electronic industry -- Argon |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | G86 |
| 国际标准分类 | 71.100.20 |
| 字数估计 | 5,539 |
| 发布日期 | 2009-10-30 |
| 实施日期 | 2010-05-01 |
| 旧标准 (被替代) | GB/T 16945-1997 |
| 引用标准 | GB/T 3723; GB/T 4842-2006; GB/T 5832.1; GB/T 8984 |
| 标准依据 | 国家标准批准发布公告2009年第12号(总第152号) |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 范围 | 本标准规定了氩的技术要求, 试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。 |
GB/T 16945-2009
Gas for electronic industry.Argon
ICS ７１．１００．２０
G８６
中华人民共和国国家标准
GB/T １６９４５-２００９
代替GB/T １６９４５-１９９７
电子工业用气体 氩
２００９-１０-３０发布
２０１０-０５-０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准代替GB/T １６９４５-１９９７《电子工业用气体 氩》。
本标准与GB/T １６９４５-１９９７相比主要变化如下：
---修改氩的适用范围（GB/T １６９４５-１９９７的第１章，本版的第１章）；
---增加规范性引用文件（GB/T １６９４５-１９９７的第２章，本版的第２章）；
---修改技术指标内容：增加一类纯度和杂质含量（GB/T １６９４５-１９９７的第３章，本版的第３章）；
---修改瓶装氩抽样方法（GB/T １６９４５-１９９７的４．１．１，本版的４．１．１）；
---增加集装阁装、大容积钢质无缝气瓶和杜瓦罐装氩产品并规定检验方法（见４．１．１）；
---修改管道输送的氩抽样方法（GB/T １６９４５-１９９７的４．１．１，本版的４．１．２）；
---增加氩的采样安全要求（见４．１．３）；
---修改氢、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的测定方法（GB/T １６９４５-１９９７的４．３、４．４、４．５，本版的
４．３）；
---增加其他方法测定总烃；当出现多种分析方法时，增加规定仲裁方法（见４．３、４．４、４．５）；
---修改水分的测定方法（GB/T １６９４５-１９９７的４．７，本版的４．５）；
---修改标志、包装、贮运及安全（GB/T １６９４５-１９９７的第５章，本版的第５章）。
本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会归口。
本标准起草单位：北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院。
本标准主要起草人：赵俊秀、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
---GB/T １６９４５-１９９７。
GB/T １６９４５-２００９
电子工业用气体 氩
１ 范围
本标准规定了氩的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。
氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退
火等不同工艺中。
分子式：Ａｒ。
相对分子质量：３９．９４８（按２００５年国际相对原子质量）。
２ 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有
的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
GB/T ３７２３ 工业用化学产品采样安全通则
GB/T ４８４２-２００６ 氩
GB/T ５８３２．１ 气体中湿度的测定 电解法
GB/T ８９８４ 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法
３ 技术要求
３．１ 电子工业用气体氩的质量应符合表１的要求。
表１ 技术指标
项 目 指 标
氩气（Ａｒ）纯度（体积分数）／１０-２ ≥ ９９．９９９９ ９９．９９９２
氢（Ｈ２）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ０．１ １
氮（Ｎ２）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ０．５ ５
氧（Ｏ２）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ０．２ ０．５
一氧化碳（ＣＯ）和二氧化碳（ＣＯ２）总含量（体积分数）／１０-６ ＜
一氧化碳：０．１
二氧化碳：０．１
０．５
总烃（以甲烷计）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ０．１ ０．５
水分（Ｈ２Ｏ）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ０．２ ０．５
杂质总含量 （体积分数）／１０-６ ≤ １ ８
颗粒 供需双方商定 供需双方商定
３．２ 液态氩的水分应气化后测定。
４ 试验方法
４．１ 抽样、判定和复验
４．１．１ 瓶装、集装阁装、大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氩产品应逐一检验并验收。当检验结果有
GB/T １６９４５-２００９
任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。生产企业应确保每一包装氩产品符合本
标准技术要求。
４．１．２ 对稳定生产的管道输送的气态氩由供需双方确定抽样方案。企业应确保管道输送的氩产品符
合本标准技术要求。
４．１．３ 氩采样安全应符合GB/T ３７２３的相关规定。
４．２ 氩纯度
氩纯度按式（１）计算：
＝１００-（１＋２＋３＋４＋５＋６）×１０-４ （１）
式中：
---氩纯度（体积分数）／１０-２；
１---氢含量（体积分数）／１０-６；
２---氮含量（体积分数）／１０-６；
３---氧含量（体积分数）／１０-６；
４---一氧化碳＋二氧化碳含量（体积分数）／１０-６；
５---总烃（以甲烷计）含量（体积分数）／１０-６；
６---水分含量（体积分数）／１０-６。
４．３ 氢、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳含量的测定
氢、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的测定方法按GB/T ４８４２-２００６中４．３的规定。
仪器检测限：０．０５×１０-６（体积分数）。
４．４ 总烃（以甲烷计）含量的测定
按GB/T ８９８４规定的方法或其他等效的方法测定氩中的微量总烃含量。当以上测定结果有异议
时，以GB/T ８９８４规定的方法为仲裁方法。
仪器检测限：０．０５×１０-６（体积分数）。
４．５ 气体标准样品
气体标准样品中的组分含量为（１～５）×１０-６（体积分数），平衡气为氩。
４．６ 水分含量的测定
按GB/T ５８３２．１执行。
仪器检测限：０．０５×１０-６（......