[PDF] GB/T 18994-2003 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 18994-2003 | 359 | GB/T 18994-2003 | <=3 | 电子工业用气体 高纯氯 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 18994-2003 (GB/T18994-2003) |
| 中文名称 | 电子工业用气体 高纯氯 |
| 英文名称 | Gases for electronic industry -- High purity chlorine |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | G86 |
| 国际标准分类 | 71.100.20 |
| 字数估计 | 9,993 |
| 发布日期 | 2003-03-05 |
| 实施日期 | 2003-08-01 |
| 采用标准 | SEMI C3.32-1995, NEQ |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 |
| 范围 | 本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输及贮存和安全要求。本标准适用于以工业液氯为原料, 采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。分子式:Cl(2)。相对分子质量:70.906(按1999年国际相对原子质量)。101.3kPa下的沸点 |
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