| 标准编号 | GB/T 18994-2014 (GB/T18994-2014) | | 中文名称 | 电子工业用气体 高纯氯 | | 英文名称 | Gases for electronic industry -- High purity chlorine | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 9,988 | | 发布日期 | 12/12/2014 | | 实施日期 | 7/1/2015 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 18994-2003 | | 引用标准 | GB 190; GB/T 3723; GB 5099; GB/T 5832.3; GB 7144; GB 11984; GB 14193; GB 15258; GB 16804; GB/T 26571; GB/T 28726-2012 | | 标准依据 | 国家标准公告2014年第30号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 18994-2014
Gases for electronic industry--High purity chlorine
ICS 71.100.20
G86
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 18994-2003
电子工业用气体 高纯氯
2014-12-22发布
2015-07-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准代替GB/T 18994-2003《电子工业用气体 高纯氯》。与GB/T 18994-2003相比,除编辑
性修改外主要技术内容变化如下:
---修改了范围(见第1章,2003年版的第1章);
---修改了规范性引用文件(见第2章,2003年版的第2章);
---修改了技术要求(见第3章,2003年版的第3章);
---修改了抽样、判定(见4.1,2003年版的第5章);
---删去了取样装置的规定(2003年版的4.1);
---修改了氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃含量的测定方法(见4.3,2003年版的4.3、4.4);
---增加了氢含量的测定方法(见4.3);
---修改了水分含量的测定方法(见4.4,2003年版的4.5);
---增加了金属元素含量的测定方法(见4.5);
---修改了标志、包装、贮运及安全(见第5章,2003年版的第6、7章)。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:西南化工研究设计院有限公司、光明化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体
有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、太和气体(荆州)有限公司、上海仪盟科技有限公司。
本标准主要起草人:周鹏云、常侠、廖恒易、方华、刘新明、汪正宏、杨任。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T 18994-2003。
电子工业用气体 高纯氯
1 范围
本标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。
本标准适用于以工业液氯为原料,采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规
模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。
分子式:Cl2。
相对分子质量:70.90(按2009年国际相对原子质量计算)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则
GB 5099 钢质无缝气瓶
GB/T 5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法
GB 7144 气瓶颜色标志
GB 11984 氯气安全规程
GB 14193 液化气体气瓶充装规定
GB 15258 化学品安全标签编写规定
GB 16804 气瓶警示标签
GB/T 26571 特种气体储存期规范
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
气瓶安全监察规程(2000版)
危险化学品安全管理条例(2002版)
特种设备安全监察条例(2009版)
3 技术要求
高纯氯的技术要求应符合表1的要求。
表1 技术指标
项 目 指 标
氯纯度(体积分数)/10-2 ≥ 99.99......
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