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| 标准编号 | GB/T 21287-2007 (GB/T21287-2007) | | 中文名称 | 电子工业用气体 三氟化氮 | | 英文名称 | Gases for electronic industry -- Nitrogen trifluoride | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 18,193 | | 发布日期 | 2007-12-14 | | 实施日期 | 2008-07-01 | | 标准依据 | China Announcement of Newly Approved National Standards No. 13 of 2007 (No. 113 overall) | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 21287-2007
Gases for electronic industry.Nitrogen trifluoride
ICS ７１．１００．２０
G８６
中华人民共和国国家标准
GB/T ２１２８７-２００７
电子工业用气体 三氟化氮
２００７-１２-１４发布
２００８-０７-０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅲ
１ 范围 １
２ 规范性引用文件 １
３ 要求 １
４ 试验方法 ２
５ 包装、标志、贮运及安全 ５
附录Ａ（资料性附录） 切割气路流程示意图 ７
附录Ｂ（资料性附录） 测定三氟化氮中一氧化碳的气路切换装置流程示意图 ８
附录Ｃ（规范性附录） 可水解氟化物和总酸度的测定 ９
附录Ｄ（资料性附录） 三氟化氮的化学性质和物理参数 １２
GB/T ２１２８７-２００７
前言
本标准根据ＳＥＭＩ（半导体材料和设备国际组织）的《三氟化氮》（ＳＥＭＩＣ３．３９-０３０４）２００４年版标
准，并结合我国三氟化氮生产的实际情况制定。
本标准的附录Ｃ为规范性附录，附录Ａ、附录Ｂ、附录Ｄ为资料性附录。
本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会（ＳＡＣ/TＣ２０３／ＳＣ１）提出并归口。
本标准由湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所负责起草。
本标准参加起草单位有：核工业理化研究院特气中心、中核红华特种气体有限公司、黎明化工研究
院、国家标准物质研究中心、西南化工研究设计院等。
本标准主要起草人：余启富、宋再卿、刘新明、戴龙侠、方治文、牛学坤、金美兰、任清贵、王少楠。
本标准为首次发布。
GB/T ２１２８７-２００７
电子工业用气体 三氟化氮
１ 范围
本标准规定了瓶装电子工业用气体---三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运
输、储存和安全。
本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学
气相沉积的清洗剂。
分子式：ＮＦ３。
分子量：７１．００１９（按２００１年国际相对原子量）
２ 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有
的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
GB １９０ 危险货物包装标志
GB/T ３７２３ 工业用化学产品采样安全通则（GB/T ３７２３-１９９９，idt ISO ３１６５：１９７６）
GB ５０９９ 钢质无缝气瓶（GB ５０９９-１９８５，neq ISO １４０５：１９８３）
GB/T ５８３２．１ 气体湿度的测定 第１部分：电解法
GB/T ６６８１ 气体化工产品采样通则
GB ７１４４ 气瓶颜色标志
GB １４１９４ 永久气体充瓶充装规定
气瓶安全监察规程
危险化学品安全管理条例
特种设备安全监察条例
３ 要求
电子工业用气体三氟化氮应符合表１的要求。
表１ 技术指标
项 目 指 标
三氟化氮（ＮＦ３），１０-２（体积分数） ≥ ９９．５ ９９．９ ９９．９８ ９９．９９ ９９．９９６
四氟化碳（ＣＦ４），１０-６（体积分数） ≤ １５００ ５００ １００ ５０ ２０
氮（Ｎ２），１０-６（体积分数） ≤ ７００ ５０ １０ １０ ５
氧加氩（Ｏ２＋Ａｒ），１０-６（体积分数） ≤ ７００ ５０ １０ ５ ３
一氧化碳（ＣＯ），１０-６（体积分数） ≤ ５０ １０ １０ ５ １
二氧化碳（ＣＯ２），１０-６（体积分数） ≤ ２５ １０ １０ ５ ０．５
氧化亚氮（Ｎ２Ｏ），１０-６（体积分数） ≤ ５０ １０ １０ ５ １
六氟化硫（ＳＦ６），１０-６（体积分数） ≤ ５０ ５０ １０ ５ ２......
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