| 标准编号 | GB/T 21287-2021 (GB/T21287-2021) | | 中文名称 | | | 英文名称 | Electronic specialty gas - Nitrogen trifluoride | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 字数估计 | 12,187 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 21287-2021
Electronic specialty gas -- Nitrogen trifluoride
ICS 71.100.20
CCSG86
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 21287-2007
电子特气 三氟化氮
2021-10-11发布
2022-05-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件代替GB/T 21287-2007《电子工业用气体 三氟化氮》,与GB/T 21287-2007相比,除结
构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:
---更改了三氟化氮应符合的技术要求(见第4章,2007年版的第3章);
---更改了抽样、判定和复验的要求(见5.1,2007年版的4.1);
---更改了采样的要求(见5.2,2007年版的4.1.6);
---增加了尾气处理的要求(见5.3);
---增加了试验方法的一般规定(见6.1);
---更改了纯度计算方法(见6.2,2007年版的4.2);
---更改了氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、氧化亚氮、六氟化硫含量的测定方法(见
6.3,2007年版的4.3、4.4);
---更改了水分含量的测定方法(见6.4,2007年版的4.6);
---更改了可水解氟化物的测定方法(见6.5,2007年版的4.5);
---更改了标志、包装、运输及贮存(见第7章,2007年版的第5章);
---更改了安全信息(见7.3,2007年版的附录D)。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本文件起草单位:昊华气体有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、西南化工研究设计
院有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、福建久策气体股份有限公司、海宁市
英德赛电子有限公司、江西华特电子化学品有限公司、浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司
西南分公司、苏州金宏气体股份有限公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处(杭州国家电子商务产
品质量监测处置中心)、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有
限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江
东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研
究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。
本文件主要起草人:王娟、付梦月、王少波、孟祥军、傅铸红、陈艳珊、马建修、何经余、曹素英、
宋富财、苏子杰、丁高松、裴友宏、韦杰广、史婉君、张建君、王新喜、孙猛、鬲春利、张琦炎、吕博文、陈洁、
吴靓、方华、依俊廷、何波、杨康、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、马昌宁、
唐霞梅、李光辉、周鹏云、黄超。
本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:
---2007年首次发布为GB/T 21287-2007;
---本次为第一次修订。
电子特气 三氟化氮
1 范围
本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息
的要求。
本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯,或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟
化氮。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
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