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| 标准编号 | GB/T 22461-2008 (GB/T22461-2008) | | 中文名称 | 表面化学分析 词汇 | | 英文名称 | Surface chemical analysis -- Vocabulary | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G04 | | 国际标准分类 | 01.040.71; 71.040.40 | | 字数估计 | 59,564 | | 发布日期 | 2008-10-30 | | 实施日期 | 2009-06-01 | | 采用标准 | ISO 18115-2001, IDT | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2008年第17号(总第130号) | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准定义的词汇适用于表面化学分析。 |
GB/T 22461-2008
Surface chemical analysis.Vocabulary
ICS 01.040.71,71.040.40
G04
中华人民共和国国家标准
GB/T 22461-2008/ISO 18115:2001
表面化学分析 词汇
(ISO 18115:2001,IDT)
2008-10-30发布
2009-06-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅰ
引言 Ⅱ
1 范围 1
2 缩略语 1
3 格式 2
4 表面分析方法的定义 2
5 表面分析词汇的定义 3
附录A(资料性附录) 术语补充说明 42
参考文献 44
中文索引 45
英文索引 50
GB/T 22461-2008/ISO 18115:2001
前言
本标准等同采用ISO 18115:2001《表面化学分析---词汇》。
本标准的附录A是资料性附录。
本标准由全国微束标准化技术委员会提出。
本标准由全国微束标准化技术委员会(SAC/TC38)归口。
本标准负责起草单位:北京大学、清华大学。
本标准主要起草人:黄惠忠、曹立礼。
GB/T 22461-2008/ISO 18115:2001
引 言
表面化学分析是一个重要的领域,涉及来自不同领域和有不同背景人们间的相互交流。从事表面
化学分析的人们可能是材料科学家、化学家或物理学家,具有从事实验或理论研究的背景。使用表面化
学数据的人们不仅仅是上述人员,也可以是其他学科的人员。
用现有的表面化学分析技术,可以获得来自接近于表面区域(一般在20nm内)的成分信息。随着
表面层的去除,用该技术可得到成分-深度信息。本标准中包含表面分析技术的范畴,已从电子能谱和
质谱扩展到光谱和X射线分析。上述技术的概念源自核物理和辐射科学以至物理化学和光学等广泛
领域。
广泛的学术领域和不同国家独特的用法导致了对专用词汇不同的解释,从而会用不同的词汇描述
相同的概念。为了避免由此产生的误解和便于信息的交流,有必要明确概念,采用正确的词汇以确定其
定义。
GB/T 22461-2008/ISO 18115:2001
表面化学分析 词汇
1 范围
本标准定义的词汇适用于表面化学分析。
2 缩略语
AES Augerelectronspectroscopy 俄歇电子能谱
CDP compositionaldepthprofile 成分深度剖析
CMA cylindricalmirroranalyser 筒镜型能量分析器
eV electronvolt 电子伏
EELS eletronenergylossspectroscopy 电子能量损失谱
EIA energetic-ionanalysis 荷能离子分析
EPMA electronprobemicroanalysis 电子探针显微分析
ESCA electronspectroscopyforchemicalanalysis 化学分析用电子能谱
FABMS fastatombombardmentmassspectrometry 快原子轰击质谱
FWHM fulwidthathalfmaximum 半高峰宽
GDS glowdischargespectrometry 辉光放电谱
GDOES glowdischargeopticalemissionspectrometry 辉光放电发射光谱
GDMS glowdischargemassspectrometry 辉光放电质谱
HEISS high-energyion-scatteringspectrometry 高能离子散射谱
HSA hemisphericalsectoranalyser 半球型能量分析器
IBA ionbeamanalysis 离子束分析
LEISS low-energyion-scatteringspectrometry 低能离子散射谱
MEISS medium-energyion-scatteringspectrometry 中能离子散射谱
PTP peaktopeak 峰-峰值
RBS Rutherfordbackscatteringspectrometry 卢瑟福背散射谱
RFA retardingfieldanalyser 减速场分析器
SAM scanningAugermicroscope 扫描俄歇显微镜
SDP sputterdepthprofile 溅射深度剖析
SEM scanningelectronmicroscope 扫描电子显微镜
SIMS secondary-ionmassspectrometry 二次离子质谱
SNMS sputteredneutralmassspectrometry 溅射中性粒子质谱
SSA sphericalsectoranalyser 球扇型能量分析器
TOF或ToF timeofflight 飞行时间......
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