标准搜索结果: 'GB/T 23414-2009'
| 标准编号 | GB/T 23414-2009 (GB/T23414-2009) | | 中文名称 | 微束分析 扫描电子显微术 术语 | | 英文名称 | Microbeam analysis -- Scanning electron microscopy -- Vocabulary | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | N33 | | 国际标准分类 | 01.040.37; 37.020 | | 字数估计 | 32,315 | | 发布日期 | 2009-04-01 | | 实施日期 | 2009-12-01 | | 采用标准 | ISO 22493-2008, IDT | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2009年第4号(总第144号) | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语, 也包括已经在ISO 23833中定义的术语。本标准适用于所有有关SEM实践的标准化文件。另外, 本标准的某些术语定义, 也适用于相关领域的文件〔例如:电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。 | GB/T 23414-2009
ICS ０１．０４０．３７：３７．０２０
N３３
中华人民共和国国家标准
GB/T ２３４１４-２００９／ISO ２２４９３：２００８
微束分析 扫描电子显微术 术语
（ISO ２２４９３：２００８，ＩＤＴ）
２００９-０４-０１发布
２００９-１２-０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅰ
引言 Ⅱ
１ 范围 １
２ 缩略语 １
３ ＳＥＭ 物理基础术语 １
４ ＳＥＭ仪器术语 ５
５ ＳＥＭ成像和图像处理术语 １０
６ ＳＥＭ图像诠释和分析术语 １４
７ ＳＥＭ图像放大倍率和分辨率校正及测量术语 １６
参考文献 １８
中文索引 １９
英文索引 ２２
GB/T ２３４１４-２００９／ISO ２２４９３：２００８
前言
本标准等同采用国际标准ISO ２２４９３：２００８《微束分析 扫描电子显微术 术语》（英文版）。
为了便于使用，本标准做了下列编辑性修改：
---“本国际标准”一词改为“本标准”；
---删除国际标准的前言。
---“扫描电子显微镜”简称“扫描电镜”。
---增加了中文索引。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。
本标准起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所。
本标准主要起草人：李香庭、曾毅。
GB/T ２３４１４-２００９／ISO ２２４９３：２００８
引 言
ＳＥＭ技术通常用于观察和表征金属、合金、陶瓷、玻璃、矿物、聚合物和粉体等固体材料在微米-纳
米范围内的形貌和组织。另外，应用聚焦离子束与扫描电镜分析技术能产生３维结构。ＳＥＭ技术的物
理基础是电子光学、电子散射和二次电子发射的机理。
ＳＥＭ技术是微束分析（ＭＢＡ）的一个主要分支，已广泛应用于高技术工业、基础工业、冶金和地质、
生物和医药、环境保护和商贸等领域。各技术领域的术语标准化是该领域标准化发展的先决条件之一。
本标准是有关ＳＥＭ的术语，它包含扫描电镜在科学和工程领域实践中共同应用的术语定义。本
标准是ISO/T Ｃ２０２-微束分析技术委员会，ＳＣ１-术语分技术委员会为完成微束分析（ＭＢＡ）领域中电子
探针显微分析（ＥＰＭＡ）、扫描电子显微术（ＳＥＭ）、分析电子显微术（ＡＥＭ）、能谱法（ＥＤＸ）等系列标准中
的第二个标准，主要内容包括：
ＳＥＭ物理基础术语；
ＳＥＭ仪器术语；
ＳＥＭ成像和图像处理术语；
ＳＥＭ图像诠释和分析术语；
ＳＥＭ图像放大倍率和分辩率校正及测量术语。
GB/T ２３４１４-２００９／ISO ２２４９３：２００８
微束分析 扫描电子显微术 术语
１ 范围
本标准定义了扫描电子显微术（ＳＥＭ）实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概
念的术语，也包括已经在ISO ２３８３３中定义的术语。
本标准适用于所有有关ＳＥＭ实践的标准化文件。另外，本标准的某些术语定义，也适用于相关领
域的文件〔例如：电子探针显微分析（ＥＰＭＡ）、分析电子显微术（ＡＥＭ）、能谱法（ＥＤＸ）等〕。
２ 缩略语
ＡＥＭ ａｎａｌｙｔｉｃａｌｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ／ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ 分析电子显微术／分析电子显微镜
ＢＳＥ（ＢＥ） ｂａｃｋｓｃａｔｔｅｒｅｄｅｌｅｃｔｒｏｎ 背散射电子
ＣＰＳＥＭ ｃｏｎｔｒｏｌｅｄｐｒｅｓｓｕｒｅｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ 可控气压扫描电镜
ＣＲＴ ｃａｔｈｏｄｅｒａｙｔｕｂｅ 阴极射线管
ＥＢＩＣ ｅｌｅｃｔｒｏｎｂｅａｍｉｎｄｕｃｅｄｃｕｒｒｅｎｔ 电子束感生电流
ＥＢＳＤ ｅｌｅｃｔｒｏｎｂａｃｋｓｃａｔｔｅｒ／ｂａｃｋｓｃａｔｔｅｒｉｎｇｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ 电子背散射衍射
ＥＤＳ ｅｎｅｒｇｙｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅＸ-ｒａｙｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ／ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ 能谱仪／能谱法
ＥＤＸ ｅｎｅｒｇｙｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅＸ-ｒａｙｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ 能谱法
ＥＰＭＡ ｅｌｅｃｔｒｏｎｐｒｏｂｅｍｉｃｒｏａｎａｌｙｓｉｓ／ａｎａｌｙｚｅｒ 电子探针显微分析／电子探针仪
ＥＳＥＭ ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔａｌｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ／ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ 环境扫描电镜／环境扫描电子显
微术
ＦＷＨＭ ｆｕｌｗｉｄｔｈａｔｈａｌｆｍａｘｉｍｕｍ 谱峰半高宽
ＳＥ ｓｅｃｏｎｄａｒｙｅｌｅｃｔｒｏｎ 二次电子
ＳＥＭ ｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ／ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ 扫描电镜／扫描电子显微术
ＶＰＳＥＭ ｖａｒｉａｂｌｅ-ｐｒｅｓｓｕｒｅｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ/可变气压扫描电镜／
ｍｉｃｒｏｓｃ......
|